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龙图腾网恭喜深圳天成真空技术有限公司申请的专利一种磁控溅射镀膜设备用旋转装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116240514B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310086066.6，技术领域涉及：C23C14/50；该发明授权一种磁控溅射镀膜设备用旋转装置是由陈春奇设计研发完成，并于2023-01-16向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种磁控溅射镀膜设备用旋转装置在说明书摘要公布了：本发明涉及磁控溅射镀膜设备技术领域，尤其是一种磁控溅射镀膜设备用旋转装置，包括安装板，安装板的顶部安装有旋转密封机构，旋转密封机构包括轴承座、储水筒、空心轴和进水组件；轴承座固定安装在安装板的顶部，储水筒固定安装在轴承座的顶部，空心轴的底端与储水筒转动连接、且与储水筒内部接通，进水组件固定安装在空心轴的顶端；安装板的底部安装有冷热转换机构、以对供应水进行加热和冷却。本发明可以快速实现加热组件和冷却组件的切换，无需对加热组件和冷却组件进行拆装，操作过程简单。

本发明授权一种磁控溅射镀膜设备用旋转装置在权利要求书中公布了：1.一种磁控溅射镀膜设备用旋转装置，包括安装板1，其特征在于，所述安装板1的顶部安装有旋转密封机构2，所述旋转密封机构2包括轴承座21、储水筒22、空心轴23和进水组件24；所述轴承座21固定安装在安装板1的顶部，所述储水筒22固定安装在轴承座21的顶部，所述空心轴23的底端与储水筒22转动连接、且与储水筒22内部接通，所述进水组件24固定安装在空心轴23的顶端；所述安装板1的底部安装有冷热转换机构5、以对供应水进行加热和冷却；所述旋转密封机构2还包括第一带轮25、安装架26、第一电机27、第二带轮28和第一对接管件29；所述第一带轮25固定安装在空心轴23上，所述安装架26固定安装在安装板1的顶部，所述第一电机27固定安装在安装架26的顶部、且输出轴与第二带轮28固定连接，所述第二带轮28与第一带轮25通过皮带传动连接，所述第一对接管件29安装在储水筒22的外侧；所述冷热转换机构5包括转轴51、转动板52、两个第二对接管件56、加热组件57和冷却组件58；所述转轴51转动安装在安装板1的底部，所述转动板52固定安装在转轴51的底部，两个所述第二对接管件56分别安装在转动板52顶部的两端、且可与第一对接管件29配合，所述加热组件57、冷却组件58分别固定安装在转动板52底部的两端、且分别与两个第二对接管件56接通。

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