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龙图腾网恭喜广东粤港澳大湾区黄埔材料研究院;上海润平电子材料有限公司申请的专利一种针对抛光设备的压力分布检测系统及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115723036B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211144413.8，技术领域涉及：B24B37/005；该发明授权一种针对抛光设备的压力分布检测系统及方法是由张通;周金长;王小虎;杨小牛设计研发完成，并于2022-09-20向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种针对抛光设备的压力分布检测系统及方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种针对抛光设备的压力分布检测系统及方法，该压力分布检测系统包括：抛光设备、压力分布检测设备和上位机；环状腔体用于为晶圆抛光提供压力；微结构型柔性压力传感器阵列包括若干个传感器单元，并呈阵列交叉分布组成圆形阵列传感器的感应区域；抛光头安装至所述圆形阵列传感器的一侧；圆形阵列传感器通过所述传感器接口与所述信号采集模块连接；信号采集模块通过所述传输硬件与所述上位机连接。本发明通过抛光头与圆形阵列传感器的一侧连接，结合环状腔体施压，使圆形阵列传感器可对抛光头各区域进行实时地压力分布检测；传感器阵列为传感器单元通过阵列交叉分布组成的圆形阵列，不易翘曲且包含更多采样点，可以提高检测精度。

本发明授权一种针对抛光设备的压力分布检测系统及方法在权利要求书中公布了：1.一种针对抛光设备的压力分布检测系统，其特征在于，包括：抛光设备、压力分布检测设备和上位机；其中，所述抛光设备为抛光头，抛光头的底座包括若干个环状腔体；其中，所述环状腔体用于为晶圆抛光提供压力；所述压力分布检测设备包括：圆形阵列传感器、信号采集模块和传输硬件；其中，所述圆形阵列传感器包括：微结构型柔性压力传感器阵列和传感器接口；所述微结构型柔性压力传感器阵列包括若干个传感器单元，且所述若干个传感器单元呈阵列交叉分布组成圆形阵列传感器的感应区域；所述抛光头安装至所述圆形阵列传感器的一侧；所述圆形阵列传感器通过所述传感器接口与所述信号采集模块连接；所述信号采集模块通过所述传输硬件与所述上位机连接；其中，所述上位机用于控制压力分布检测设备对抛光设备进行压力分布检测；所述信号采集模块包括：伪影消除电路和MCU；所述MCU分别与所述伪影消除电路、所述传感器接口；所述MCU还通过传输硬件与所述上位机连接；所述伪影消除电路用于虚拟隔离所述圆形阵列传感器中的被测电阻；所述MCU用于根据所述上位机的指令，控制所述圆形阵列传感器进行压力分布检测；以及用于接收所述伪影消除电路的采集信息；以及用于将所述采集信息传输至所述上位机；所述上位机还用于根据非线性拟合算法，对接收的采集数据进行拟合处理，得到压力值数据；所述上位机还用于根据采集数据或压力值数据，实时显示压力分布图；其中，所述压力分布图包括：3D图像和热力图。

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