恭喜哈尔滨理工大学李东洁获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾,真高效! 查专利查商标用IPTOP,全免费!专利年费监控用IP管家,真方便!
龙图腾网恭喜哈尔滨理工大学申请的专利一种高效和高质量的微尺度金属电沉积方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114758732B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-28发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210388185.2,技术领域涉及:G16C10/00;该发明授权一种高效和高质量的微尺度金属电沉积方法是由李东洁;张富越;荣伟彬;杨柳设计研发完成,并于2022-04-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种高效和高质量的微尺度金属电沉积方法在说明书摘要公布了:一种高效和高质量的微尺度金属电沉积方法,是为了解决基于电化学沉积的金属微构件拾取过程中难以实现高效和高质量的微尺度金属电沉积问题。首先,通过受力分析,计算出能够实现基于电化学的金属微构件的可靠拾取所需要沉积的微尺度金属的最小高度;然后,利用COMSOL仿真分析微尺度金属电沉积的影响因素,得出高效、高质量的电沉积参数范围;其次,基于反向传播神经网络BP,建立影响因素与微尺度金属电沉积速率之间的关系;最后,以确定的电沉积速率为目标值,采用遗传算法优化了微尺度电沉积的工艺参数,并通过实验验证,实现高效率和高质量的沉积。本发明适用于微尺度金属电沉积。
本发明授权一种高效和高质量的微尺度金属电沉积方法在权利要求书中公布了:1.一种高效和高质量的微尺度金属电沉积方法,其特征在于:该方法按照以下步骤进行:步骤一:根据受力分析,计算出能够实现基于电化学的金属微构件的可靠拾取所需要沉积的微尺度金属的最小高度: 公式1中,FVDW为单位长度的微金属线和基地之间的范德华力,δCu为沉积微金属的剪切强度,单位为Mpa,l为拾取的金属微构件微铜线的长度,单位m,r’为微移液管内沉积铜的半径,单位m,rNozzle为移液管管嘴半径,单位m;Δr=r'-rNoozle,2根据移液管嘴形状,得出管嘴内沉积金属高度h和Δr的关系:h=0.0639Δr3-0.1794Δr2+0.2569Δr-0.0094,3公式3中,h为移液管内微尺度金属电沉积的高度,单位m;步骤二:利用COMSOL仿真分别分析环境相对湿度、电解液浓度和所加沉积电压对微尺度金属电沉积速率和质量的影响,得出合适的参数范围;步骤三:基于反向传播神经网络BP,建立影响因素与微尺度金属电沉积速率之间的关系,以确定的电沉积速率为目标值,采用遗传算法优化微尺度电沉积的工艺参数;步骤四:采用优化后的参数,进行实验验证,实现高效率和高质量的微尺度金属电沉积。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人哈尔滨理工大学,其通讯地址为:150080 黑龙江省哈尔滨市南岗区学府路52号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。