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龙图腾网恭喜李涛申请的专利一种化学气相沉积设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114574836B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210130187.1，技术领域涉及：C23C16/44；该发明授权一种化学气相沉积设备是由李涛;王俊;刘书凯设计研发完成，并于2022-02-11向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种化学气相沉积设备在说明书摘要公布了：本发明涉及化学气相沉积技术领域，具体为一种化学气相沉积设备，包括箱体、铰接在箱体上的箱盖、固定安装在箱盖上的进料口，所述箱体的内壁上固定安装有缓冲箱，所述进料口的底部与缓冲箱的上端连通，所述缓冲箱的内部固定安装有第一固定杆，所述第一固定杆的下端设有扇叶。本发明通过设置第一固定杆、扇叶、缓冲箱等机构，待沉积气体由进料口进入箱体内部，利用驱动设备带动扇叶旋转，旋转的扇叶在进料口处形成气流，加快待沉积气体进入缓冲箱的速度，待沉积气体通过通气孔扩散到缓冲箱的下端，使得待沉积气体均匀扩散到箱体内腔中。

本发明授权一种化学气相沉积设备在权利要求书中公布了：1.一种化学气相沉积设备，包括箱体1、铰接在箱体1上的箱盖2、固定安装在箱盖2上的进料口3，其特征在于：所述箱体1的内壁上固定安装有缓冲箱4，所述进料口3的底部与缓冲箱4的上端连通，所述缓冲箱4的内部固定安装有第一固定杆5，所述第一固定杆5的下端设有扇叶6，且扇叶6设于缓冲箱4的内部，所述缓冲箱4的底部开设有多个通气孔7，所述箱体1上设有用于驱动扇叶6旋转的驱动机构；所述驱动机构包括固定安装在箱体1外侧的电机8，所述电机8的输出端固定连接有蜗杆9，所述蜗杆9贯穿箱体1的一侧并转动安装在箱体1的另一侧，所述箱体1的内腔中设有驱动杆11，所述驱动杆11的顶部转动安装在缓冲箱4的底壁上，所述驱动杆11上固定安装有蜗轮10，且蜗杆9和蜗轮10相互啮合；所述缓冲箱4的底端设有无顶的加热箱12，所述加热箱12的内壁上固定安装有加热板13，所述进料口3的侧壁上开设有第一凹槽14，所述第一凹槽14的内部铰接有导体杆15，所述第一凹槽14的内壁上固定安装有限位杆16，所述限位杆16为弧形结构，且导体杆15在限位杆16上滑动，所述第一凹槽14的顶壁上固定连接有第一弹簧17，所述第一弹簧17的底端固定连接在导体杆15上，所述第一凹槽14的底壁上固定安装有导体块18，所述导体杆15和导体块18均和电源电性连接；所述加热箱12靠近缓冲箱4的侧壁上固定安装有滤网24，所述驱动杆11贯穿缓冲箱4和滤网24并延伸至滤网24的底部，所述滤网24的上下两端均设有四个对称设置的搅拌杆19，且八个搅拌杆19均固定安装在驱动杆11上，所述搅拌杆19的内部滑动安装有活动杆20，所述活动杆20的一端固定连接有第二弹簧21，所述第二弹簧21的一端固定连接在搅拌杆19的内壁上，所述活动杆20的底部开设有矩形槽22，所述加热箱12的底壁和滤网24上均固定安装有四个斜向的限位块23，所述加热箱12的底部开设有多个通气口25；所述箱体1的侧壁内部开设有第一环形腔26，所述第一环形腔26的内部绕设有导水管27，所述导水管27上固定安装有多个排气管28，多个所述排气管28的内部固定安装有气水分离膜29，所述箱体1的底端开设有两个水槽30，两个所述水槽30之间开设有通水口39，所述箱体1的外侧设有水泵31，所述水泵31的出水管和其中一个水槽30连通，所述水泵31的出水管与导水管27的一端通过软管连接，所述导水管27的进水端与其中另一个水槽30连通，所述蜗杆9上固定安装有第一皮带轮32，所述水泵31的一侧固定安装有第二皮带轮33，所述第一皮带轮32和第二皮带轮33通过皮带34传动连接，所述加热箱12的侧壁内部开设有第二环形腔35，所述排气管28的一端和第二环形腔35连通；两个所述水槽30之间转动安装有转杆36，所述转杆36贯穿箱体1的底壁并延伸至箱体1的内腔中，所述转杆36的顶端固定安装有固定座37，所述固定座37的上端固定安装有基片38，所述通水口39的内部设有叶轮40，且叶轮40固定安装在转杆36上；所述远离水泵31一侧的水槽30底壁上固定安装有导电块41，所述导电块41的两侧分别设有第二固定杆42，所述第二固定杆42固定安装在水槽30的顶壁和底壁上，所述第二固定杆42之间滑动安装有导体球壳43，所述箱体1的一侧固定安装有警报器44，所述导电块41、导体球壳43和警报器44均通过导线与电源电性连接；所述加热箱12的底壁开设有多个第二凹槽45，多个所述第二凹槽45和通气口25连通，所述第二凹槽45的内部固定安装有固定板46，所述固定板46上固定安装有伸缩杆47，所述伸缩杆47的上端固定安装有梯形活塞48，所述伸缩杆47上套设有第三弹簧49，且第三弹簧49的两端分别固定连接在固定板46和梯形活塞48上。

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