买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网恭喜广东粤港澳大湾区黄埔材料研究院申请的专利一种表面具有沟槽的抛光垫获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113752160B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111023506.0，技术领域涉及：B24B37/26；该发明授权一种表面具有沟槽的抛光垫是由杨小牛;王杰;袁黎光;肖亮锋;楚慧颖;吴泽佳设计研发完成，并于2021-09-01向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种表面具有沟槽的抛光垫在说明书摘要公布了：本发明涉及化学机械抛光技术领域，公开了一种表面具有沟槽的抛光垫，其包括圆形的抛光层，抛光层上设置有第一沟槽、第二沟槽及第三沟槽；第一沟槽位于抛光层的表面，且第一沟槽以抛光层的圆心为起点呈螺旋状延伸至抛光层的边缘；第二沟槽位于抛光层的表面，且第二沟槽以抛光层的圆心为起点沿径向延伸至抛光层的边缘；第三沟槽位于抛光层的表面，且第三沟槽以第二沟槽上的某点为起点延伸至抛光层的边缘。本发明实施例的抛光垫通过螺旋状延伸的第一沟槽能够调控抛光液的切向加速度，实现抛光液均匀分布，提高去除率，通过径向延伸的第二沟槽及与第二沟槽呈分叉型的第三沟槽能够调节抛光液的径向加速度，延缓抛光液速度变化，提高抛光液停留时间。

本发明授权一种表面具有沟槽的抛光垫在权利要求书中公布了：1.一种表面具有沟槽的抛光垫，其特征在于，包括：抛光层，所述抛光层为圆形；第一沟槽，位于所述抛光层的表面，所述第一沟槽以所述抛光层的圆心为起点呈螺旋状延伸至所述抛光层的边缘，所述第一沟槽为中心对称的双螺线结构，所述第一沟槽的宽度为D1，1mm＜D1≤3mm，所述第一沟槽的深度为H1，1mm≤H1≤2mm；第二沟槽，位于所述抛光层的表面，所述第二沟槽以所述抛光层的圆心为起点沿径向延伸至所述抛光层的边缘，所述第二沟槽的宽度为D2，D2＝D1，所述第二沟槽的深度为H2，H2＝H1+c，0.51mm≤c≤0.21mm；第三沟槽，位于所述抛光层的表面，所述第三沟槽以所述第二沟槽上的某点为起点延伸至所述抛光层的边缘，所述第三沟槽的宽度为D3，D3＝D2，所述第三沟槽的深度为H3，H3＝H2，所述第三沟槽与所述第二沟槽所成锐角为α，α为30°、45°或60°。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人广东粤港澳大湾区黄埔材料研究院，其通讯地址为：510530 广东省广州市黄埔区连云路388号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。