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龙图腾网恭喜安徽中科新源半导体科技有限公司申请的专利一种半导体蚀刻的液体增压系统的控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113035757B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110317325.2，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种半导体蚀刻的液体增压系统的控制方法是由熊绎;刘峻;高扬;张晶晶;顾思;朱颖怡设计研发完成，并于2021-03-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种半导体蚀刻的液体增压系统的控制方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种半导体蚀刻的液体增压系统的控制方法，液体增压系统应用于半导体制程过程中的更换，控制方法包括：上位机根据不同半导体制程提供液体增压系统所需的操作目标命令；监控液体增压系统的操作参数；确定用于液体增压系统的操作目标命令与液体增压系统的操作参数中的对应操作参数之间的误差值；误差值大于15%LMin时，使用PID控制器基于误差值来确定排程的PID增益，基于修改后的排程PID增益来确定用于液体增压系统的系统控制命令，以及基于用于液体增压系统的系统控制命令来控制液体增压系统，本发明通过调节液体流量的恒速，提高了蚀刻的质量。

本发明授权一种半导体蚀刻的液体增压系统的控制方法在权利要求书中公布了：1.一种半导体蚀刻的液体增压系统的控制方法，其特征在于：所述液体增压系统应用于半导体制程过程中的更换，所述控制方法包括：上位机1根据不同半导体制程提供液体增压系统所需的操作目标命令；监控液体增压系统的操作参数；确定用于液体增压系统的所述操作目标命令与液体增压系统的所述操作参数中的对应操作参数之间的误差值；所述误差值大于15％LMin时，使用PID控制器基于所述误差值来确定排程的PID增益；基于修改后的排程PID增益来确定用于液体增压系统的系统控制命令，以及基于用于液体增压系统的系统控制命令来控制液体增压系统；其中，所述排程的PID增益根据以下关系来确定： 其中，Kp时比例增益，Tt是积分时间常数，TD是微分时间常数，ut是PID控制器的输出信号，et是给定值rt与测量值之差。

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