恭喜芯钛科半导体设备(上海)有限公司沈凯获国家专利权
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龙图腾网恭喜芯钛科半导体设备(上海)有限公司申请的专利一种拾取晶圆盒中透气材料的装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112802791B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110166392.9，技术领域涉及：H01L21/683；该发明授权一种拾取晶圆盒中透气材料的装置是由沈凯设计研发完成，并于2021-02-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种拾取晶圆盒中透气材料的装置在说明书摘要公布了：本发明涉及一种拾取晶圆盒中透气材料的装置，该装置包括伯努利盘1、导流盘2和气管接头3，所述的导流盘2固定在伯努利盘1下表面中间区域并与伯努利盘1之间形成空气流通间隙，所述的空气流通间隙通过气管接头3连接连通至气源，所述的导流盘2用于将输入至空气流通间隙中的气流向伯努利盘1周侧导通分散。与现有技术相比，本发明实现了透气材料的自动化拾取，无需人工参与，大大提高生产效率，降低人力成本。
本发明授权一种拾取晶圆盒中透气材料的装置在权利要求书中公布了：1.一种拾取晶圆盒中透气材料的装置，其特征在于，该装置包括伯努利盘1、导流盘2和气管接头3，所述的导流盘2固定在伯努利盘1下表面中间区域并与伯努利盘1之间形成空气流通间隙，所述的空气流通间隙通过气管接头3连接连通至气源，所述的导流盘2用于将输入至空气流通间隙中的气流向伯努利盘1周侧导通分散；所述的伯努利盘1和导流盘2外轮廓均为圆形；所述的伯努利盘1和导流盘2中心对中，导流盘2直径为伯努利盘1直径的12～23；所述的导流盘2上表面与伯努利盘1相对设置，所述的导流盘2上表面呈环型阶梯状，进而形成环型阶梯状的空气流通间隙，所述的空气流通间隙的高度呈现如下变化方式：从导流盘2中心位置向导流盘2边缘位置，空气流通间隙的高度由小变大；所述的伯努利盘1下表面上还径向设置若干导流槽4；所述的导流槽4均匀分布；所述的导流槽4起始于导流盘2边缘、终止于伯努利盘1边缘。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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