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龙图腾网恭喜匠博先进材料科技(广州)有限公司申请的专利蒸镀掩模、蒸镀掩模组件、蒸镀掩模装置及显示装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112323020B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202011296385.2，技术领域涉及：C23C14/04；该发明授权蒸镀掩模、蒸镀掩模组件、蒸镀掩模装置及显示装置是由蓝秋亮设计研发完成，并于2020-11-18向国家知识产权局提交的专利申请。

本蒸镀掩模、蒸镀掩模组件、蒸镀掩模装置及显示装置在说明书摘要公布了：本发明提供了一种蒸镀掩模，包括：第一面侧、第二面侧及贯通孔，其特征在于，所述第一面侧至所述第二面侧的厚度T，满足关系式：5um≤T≤40um；所述第一面侧至少包括若干第一凹部，所述第一凹部围绕所述贯通孔，所述第一凹部包括第一开口及第一刻蚀面；所述第二面侧至少包括多个第二凹部，所述第二凹部向所述第一面侧凹陷，所述第二凹部与所述第一凹部相贯穿形成贯通孔；定义一垂直所述第一面侧与所述第二面侧的纵截面，定义所述第一开口的纵截面宽度为D，所述贯通孔的纵截面宽度为F，则满足关系式：1um≤D‑F≤4um。使得蒸镀掩模制造过程中，避免第一次刻蚀直接蚀穿金属卷材。

本发明授权蒸镀掩模、蒸镀掩模组件、蒸镀掩模装置及显示装置在权利要求书中公布了：1.一种蒸镀掩模，所述蒸镀掩模在蒸镀材料向蒸镀基板的蒸镀中被使用，所述蒸镀掩模包括：第一面侧，其构成所述蒸镀掩模面对所述蒸镀基板的一侧；第二面侧，其构成所述蒸镀掩模与所述第一面侧相反的一侧；及贯通孔，其贯穿所述第一面侧与所述第二面侧，其特征在于，所述第一面侧至所述第二面侧的厚度T，满足关系式：5um≤T≤25um；所述第一面侧至少包括若干第一凹部，所述第一凹部围绕所述贯通孔，所述第一凹部包括第一开口及第一刻蚀面，所述第一刻蚀面为自所述第一开口向所述第二面侧凹陷形成的面；所述第二面侧至少包括多个第二凹部，所述第二凹部向所述第一面侧凹陷，所述第二凹部与所述第一凹部相贯穿形成贯通孔，且所述第一刻蚀面连接所述第一开口与所述贯通孔；定义一垂直所述第一面侧与所述第二面侧的纵截面，定义所述第一开口的纵截面宽度为D，所述贯通孔的纵截面宽度为F，则满足关系式：1um≤D-F≤4um；所述第一面侧还包括第一支撑部，所述第一支撑部围绕所述第一凹部；所述第二面侧还包括第二支撑部，所述第二支撑部为平面，所述第一面侧至所述第二面侧的厚度T为所述第一支撑部至所述第二支撑部的厚度；所述第二支撑部形成于多个所述第二凹部之间，且所述第二支撑部在第一面侧的投影位于所述第一支撑部内；所述第二凹部包括第二开口及第二刻蚀面，所述第二开口与所述第二支撑部相连，所述第二刻蚀面自所述第二开口向贯通孔方向弯曲延伸，且所述第二刻蚀面连接所述第二开口与所述贯通孔。

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