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龙图腾网恭喜成都国泰真空设备有限公司申请的专利一种防离子轰击的离子源装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111192803B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010128512.1，技术领域涉及：H01J1/304；该发明授权一种防离子轰击的离子源装置是由王伟;卢成设计研发完成，并于2020-02-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种防离子轰击的离子源装置在说明书摘要公布了：本发明涉及离子源技术领域，具体而言，涉及一种防离子轰击的离子源装置，包括：壳体、磁铁、导磁件、阳极件、石墨阴极、第一极靴和第二极靴。壳体开设有第一凹槽；第一极靴设置于第一凹槽内，磁铁设置于第一极靴的两端并贴合于第一凹槽的内壁，导磁件设置于第一极靴与磁铁所形成的第二凹槽内，阳极件设置于导磁件的内腔，第二极靴设置于导磁件与磁铁形成的承载平台上，石墨阴极包裹于第二极靴，石墨阴极用于阻挡从阳极件发射的电子对第二极靴进行轰击。如此，离子在阳极的加速下轰击产品时，石墨阴极能够阻挡从阳极件发射的离子对第二极靴进行轰击，从而有效的保护第二极靴，同时避免对环境造成污染。

本发明授权一种防离子轰击的离子源装置在权利要求书中公布了：1.一种防离子轰击的离子源装置，其特征在于，包括：壳体（1）、磁铁（3）、导磁件（4）、阳极件（5）、石墨阴极（6）、第一极靴（21）和第二极靴（22）；所述壳体（1）开设有第一凹槽；所述第一极靴（21）设置于所述第一凹槽内，所述磁铁（3）设置于所述第一极靴（21）的两端部并贴合于所述第一凹槽的内壁；所述磁铁（3）为两个，其中一个磁铁（3）的N极与所述第一极靴（21）连接、S极与所述第二极靴（22）连接，另一个磁铁（3）的S极与所述第一极靴（21）连接、N极与所述第二极靴（22）连接，所述导磁件（4）将两个所述磁铁（3）的N极和S极连通形成磁通；所述导磁件（4）设置于所述第一极靴（21）与所述磁铁（3）所形成的第二凹槽内；所述阳极件（5）设置于所述导磁件（4）的内腔；所述第二极靴（22）设置于所述导磁件（4）与所述磁铁（3）形成的承载平台上；所述第二极靴（22）为两个，两个第二极靴（22）的位置相对；包裹于每个第二极靴（22）的石墨阴极（6）之间存在间隙；所述石墨阴极（6）包裹于所述第二极靴（22）；所述石墨阴极（6）用于阻挡从所述阳极件（5）发射的离子对所述第二极靴（22）进行轰击。

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