恭喜杭州士兰微电子股份有限公司周延青获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网恭喜杭州士兰微电子股份有限公司申请的专利MEMS麦克风及其制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111083621B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201911426163.5，技术领域涉及：H04R19/00；该发明授权MEMS麦克风及其制造方法是由周延青;潘华兵;郑泉智;胡铁刚设计研发完成，并于2019-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本MEMS麦克风及其制造方法在说明书摘要公布了：公开了一种MEMS麦克风及其制造方法。所述MEMS麦克风包括：衬底；位于所述衬底第一表面上的膜片和背极板结构，所述膜片与所述背极板结构之间彼此间隔，所述膜片的第一表面与所述背极板结构的第一表面彼此相对；以及贯穿所述衬底到达所述膜片的第二表面的声腔，其中，所述膜片的第一表面设置有与所述背极板结构连接的第一连接部。本申请将膜片通过表面的第一连接部悬挂于背极板结构，极大的释放了膜片的应力，提高了膜片机械响应的灵敏度。
本发明授权MEMS麦克风及其制造方法在权利要求书中公布了：1.一种MEMS麦克风，包括：衬底；位于所述衬底第一表面上的膜片和背极板结构，所述膜片与所述背极板结构之间彼此间隔，所述膜片的第一表面与所述背极板结构的第一表面彼此相对；位于所述衬底第一表面上方的第一隔离层；位于所述第一隔离层上的第二隔离层；贯穿所述第二隔离层的空腔，所述空腔暴露所述膜片的第一表面以及连接所述膜片第一表面和第二表面的侧面，所述空腔还包括所述第二隔离层与所述膜片侧面之间的间隔；以及贯穿所述衬底到达所述膜片的第二表面的声腔，所述声腔贯穿所述第一隔离层，以使得所述膜片的整个第二表面暴露；其中，所述膜片的第一表面设置有与所述背极板结构连接的第一连接部。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人杭州士兰微电子股份有限公司，其通讯地址为：310012 浙江省杭州市黄姑山路4号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号