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恭喜山西天成半导体材料有限公司周海峰获国家专利权

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龙图腾网恭喜山西天成半导体材料有限公司申请的专利碳化硅粉料合成装置及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119425539B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-01发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510042909.1,技术领域涉及:B01J8/10;该发明授权碳化硅粉料合成装置及方法是由周海峰;刘洋洋;余志明;申宇航;吕品设计研发完成,并于2025-01-10向国家知识产权局提交的专利申请。

碳化硅粉料合成装置及方法在说明书摘要公布了:本发明提供碳化硅粉料合成装置及方法,涉及碳化硅合成技术领域。碳化硅粉料合成装置,包括底座,所述底座上表面固定连接圆柱凸台,所述圆柱凸台上表面设置有小圆柱,所述圆柱凸台的小圆柱的圆柱表面转动连接转动圆盘,所述转动圆盘上表面设置有T型槽,所述转动圆盘的T型槽滑动连接滑动齿槽杆,所述滑动齿槽杆上表面设置有齿槽,所述滑动齿槽杆远离转动圆盘的中心的一侧固定连接放置组件,所述放置组件上方设置有坩埚组件,所述底座上表面固定连接保护壳体。三个坩埚组件分别处于加热区、冷却区、处理区,保证设备始终在绝大部分时候都处于工作状态,避免因坩埚需要冷却导致设备处于空闲的状态,从而提高了设备的生产效率。

本发明授权碳化硅粉料合成装置及方法在权利要求书中公布了:1.碳化硅粉料合成装置,包括底座(1),其特征在于:所述底座(1)上表面固定连接圆柱凸台(2),所述圆柱凸台(2)上表面设置有小圆柱,所述圆柱凸台(2)的小圆柱的圆柱表面转动连接转动圆盘(10),所述转动圆盘(10)上表面设置有T型槽,所述转动圆盘(10)的T型槽滑动连接滑动齿槽杆(19),所述滑动齿槽杆(19)上表面设置有齿槽,所述滑动齿槽杆(19)远离转动圆盘(10)的中心的一侧固定连接放置组件(9),所述放置组件(9)上方设置有坩埚组件(7),所述底座(1)上表面固定连接保护壳体(11),所述圆柱凸台(2)的小圆柱的上表面固定连接矩形固定块(12),所述矩形固定块(12)靠近保护壳体(11)的一侧表面设置有T型槽,所述矩形固定块(12)的T型槽滑动连接第二移动板(15),所述第二移动板(15)上表面固定连接第二伺服电机(17),所述第二伺服电机(17)输出端固定连接第二转动轴(18),所述第二转动轴(18)的圆柱表面固定连接第二齿轮(16),所述保护壳体(11)靠近转动圆盘(10)的一侧表面设置有贯通口,所述保护壳体(11)内部上表面固定连接第四电动推杆(22),所述第四电动推杆(22)的活塞杆下表面固定连接第三移动板(23),所述第三移动板(23)下表面固定连接第三伺服电机(24),所述第三伺服电机(24)输出端固定连接转动组件(25),所述底座(1)上表面设置有降温组件(8),所述转动圆盘(10)靠近底部的圆柱表面设置有齿槽,所述底座(1)上表面固定连接支撑柱(3),所述支撑柱(3)上表面固定连接第一伺服电机(4),所述第一伺服电机(4)输出端固定连接第一转动轴(5),所述第一转动轴(5)的圆柱表面固定连接第一齿轮(6),所述第一齿轮(6)和转动圆盘(10)的齿槽啮合,所述转动圆盘(10)的T型槽内部侧表面靠近圆柱凸台(2)中心设置有磁铁块(26),所述矩形固定块(12)上表面固定连接第二支撑板(13),所述第二支撑板(13)下表面固定连接第二电动推杆(14),所述第二电动推杆(14)的活塞杆底部固定连接在第二移动板(15)的上表面,所述保护壳体(11)内部两侧表面固定连接第三电动推杆(20),所述第三电动推杆(20)的活塞杆固定连接加热板(21),所述加热板(21)为半圆形。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人山西天成半导体材料有限公司,其通讯地址为:030000 山西省太原市中北高新技术产业开发区不锈钢产业园区钢园北街1号(一照多址);或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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