恭喜河北美泰电子科技有限公司张志勇获国家专利权
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龙图腾网恭喜河北美泰电子科技有限公司申请的专利硅微陀螺仪获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119354166B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-01发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411919418.2,技术领域涉及:G01C19/00;该发明授权硅微陀螺仪是由张志勇;王宁;陈鹏旭;罗蓉;李静轩;陈琳设计研发完成,并于2024-12-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本硅微陀螺仪在说明书摘要公布了:本发明提供了一种硅微陀螺仪,属于惯性角速度检测技术领域,包括基板、质量单元、驱动单元和检测单元;质量单元包括两组质量模组,两组质量模组之间通过第一弹性耦合梁连接,第一弹性模组将质量模组连接于基板;驱动单元包括围设于质量单元外周的多组驱动模组,第二弹性模组将驱动模组固定于基板,驱动模组用于接收外部输入的电信号,驱动模组沿X轴运动,并驱动质量模组沿Y轴做扭转简谐运动,当外界有绕X轴的惯性角速率输入,质量模组在将以Y轴为转轴做旋转运动;检测单元设于质量单元和基板之间。本发明提供的硅微陀螺仪,旨在解决现有技术中硅微陀螺仪的共模干扰信号抑制能力较差,检测灵敏度和信噪比较低,导致整体检测精度较低的问题。
本发明授权硅微陀螺仪在权利要求书中公布了:1.硅微陀螺仪,其特征在于,包括:基板;质量单元,包括沿X轴依次分布的两组质量模组,两组所述质量模组之间通过第一弹性耦合梁连接,所述质量模组的中心区具有中空的安装区,所述安装区内设有第一弹性模组,所述第一弹性模组将所述质量模组连接于所述基板,所述第一弹性模组能够有效抑制所述质量模组在检测运动和驱动运动过程中的干扰模态频率;驱动单元,包括围设于所述质量单元外周的多组驱动模组,相邻的两组所述驱动模组之间通过的第二弹性模组连接,所述第二弹性模组将所述驱动模组固定于所述基板,并增强各部件间的耦合性,所述驱动模组用于接收外部输入的电信号,在静电力的作用下所述驱动模组沿X轴反向运动,并驱动两组所述质量模组以第一弹性模组为基点沿Y轴做扭转简谐运动,两组所述质量模组的扭转方向相反,所述质量模组在沿Y轴做扭转简谐运动时,当外界有绕X轴的惯性角速率输入,所述质量模组在哥氏力的作用下将以Y轴为转轴做旋转运动;以及检测单元,设于所述质量单元和所述基板之间,并连接于所述基板,所述检测单元用于检测所述质量模组在X轴的角速率,并转换成电信号输出。
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