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龙图腾网恭喜鸿舸半导体设备(上海)有限公司申请的专利一种应用于半导体制造中的气体控制方法和装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119320940B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411875929.9，技术领域涉及：C23C16/52；该发明授权一种应用于半导体制造中的气体控制方法和装置是由杨亚辉设计研发完成，并于2024-12-19向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种应用于半导体制造中的气体控制方法和装置在说明书摘要公布了：本申请提供了一种应用于半导体制造中的气体控制方法和装置，由于不同气体在受到对应频率的红外光线照射后，可以对对应的气体产生热效应，并且，由于温度的微小增加都会导致辐射能量的显著增长，而红外图像中的像素值正式基于辐射能量的大小来的，基于这一原理，先后获得利用红外光线照射前后的红外图像，然后对红外图像进行比对，从而可以确定出红外图像中发生变化的像素或者未发生明显变化的像素，通过发生变化的像素或者未发生明显变化的像素的比例可以确定出氢气气体和磷烷气体的气体比例，进而根据该比例判断是否对流量控制阀进行调节，通过上述方式可以对混合气体的混合比例进行及时调整，从而有利于提高成品率。

本发明授权一种应用于半导体制造中的气体控制方法和装置在权利要求书中公布了：1.一种应用于半导体制造中的气体控制方法，其特征在于，所述气体控制方法用于为化学气相沉积设备提供混合气体的气体混合罐中的磷烷气体和氢气气体的比例进行调节，所述气体混合罐内设置有允许距离磷烷气体对红外光的吸收峰在预设范围内的红外波长通过的滤光片和被所述滤光片遮挡的红外光源，所述气体混合罐外的不同位置处设置有多台红外摄像机，每台红外摄像机处设置有用于探测波长的红外探测器，所述气体混合罐所处空间处还设置有用于检测空气浓度的浓度传感器、用于检测空气温度的第一温度传感器，以及用于检测空气湿度的湿度传感器，所述气体控制方法包括：按照预设周期控制多台所述红外摄像机对所述气体混合罐对应的区域进行拍摄，得到多张第一红外图像，并控制各所述红外探测器采集当前的第一波长、所述浓度传感器采集当前的第一空气浓度、所述第一温度传感器采集当前的第一空气温度和所述湿度传感器采集当前的第一空气湿度；控制所述红外光源射出红外光线，并控制多台所述红外摄像机对所述气体混合罐对应的区域进行拍摄，得到多张第二红外图像，以及控制各所述红外探测器采集当前的第二波长、所述浓度传感器采集当前的第二空气浓度、所述第一温度传感器采集当前的第二空气温度和所述湿度传感器采集当前的第二空气湿度；针对每张目标红外图像，如下公式计算该目标红外图像对应的红外传播损失率： =1-exp[−λ,C,T+λ,T,RHx]；其中，所述目标红外图像包括所述第一红外图像和所述第二红外图像，λ,C,T表示吸收衰减系数，λ,T,RH表示散射衰减系数，λ为在获取到该目标红外图像时，该目标红外图像对应的红外探测器采集到的波长，C为在获取到该目标红外图像时，所述浓度传感器采集到的空气浓度，T为在获取到该目标红外图像时，所述第一温度传感器采集到的空气温度，RH为在获取到该目标红外图像时，所述湿度传感器采集到的空气湿度，x是该目标红外图像对应的红外摄像机相对于拍摄区域的距离，exp表示自然指数函数；利用如下公式对该目标红外图像进行校正，得到该目标红外图像对应的校正红外图像： ；其中，为该目标红外图像中的像素对应的像素亮度；针对同一红外摄像机对应的第一校正红外图像和第二校正红外图像中相同位置上的像素进行比较，确定所述第二校正红外图像中相对于所述第一校正红外图像中像素亮度发生变化超过预设阈值的第一像素数量和像素亮度的变化未超过所述预设阈值的第二像素数量；根据所有所述第一像素数量和所述第二像素数量的比值的均值，对氢气供应气瓶对应的第一输送管路上的流量控制阀进行调节。

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