恭喜西安龙飞电气技术有限公司郑丽君获国家专利权
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龙图腾网恭喜西安龙飞电气技术有限公司申请的专利浮空P环岛的双沟槽SiC MOSFET器件及制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119342870B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-01发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411864361.0,技术领域涉及:H10D30/66;该发明授权浮空P环岛的双沟槽SiC MOSFET器件及制备方法是由郑丽君;曹琳;刘青;温建功设计研发完成,并于2024-12-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本浮空P环岛的双沟槽SiC MOSFET器件及制备方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种浮空P环岛的双沟槽SiCMOSFET器件及制备方法,包括:第一外延层,包括多个间隔排布的浮空P型环岛结构,浮空P型环岛结构位于第一外延层的第一侧;第二外延层,与第一外延层的第一侧层叠设置,第二外延层包括栅极沟槽,栅极沟槽位于第二外延层背离第一外延层的一侧,栅极沟槽内设置有栅氧化层和栅极;第二外延层还包括多个间隔排布的P+型环结构,沿第一方向,P+型环结构的正投影与栅极沟槽的正投影交叠,P+型环结构的正投影与至少部分浮空P型环岛结构的正投影交叠。本发明不仅能够降低器件的导通电阻,还能提高器件的击穿电压。
本发明授权浮空P环岛的双沟槽SiC MOSFET器件及制备方法在权利要求书中公布了:1.一种浮空P环岛的双沟槽SiCMOSFET器件,其特征在于,包括:第一外延层,包括多个间隔排布的浮空P型环岛结构,所述浮空P型环岛结构位于所述第一外延层的第一侧,且排布在整层所述第一外延层中;第二外延层,与所述第一外延层的第一侧层叠设置,所述第二外延层包括栅极沟槽,所述栅极沟槽位于所述第二外延层背离所述第一外延层的一侧,所述栅极沟槽内设置有栅氧化层和栅极;所述第二外延层还包括多个间隔排布的P+型环结构,沿第一方向,所述P+型环结构的正投影与所述栅极沟槽的正投影交叠,所述P+型环结构的正投影与至少部分所述浮空P型环岛结构的正投影交叠;沿第二方向,由所述第二外延层的两侧指向所述第二外延层的中间的方向,相邻所述P+型环结构之间的距离逐渐增大,各个所述P+型环结构的宽度尺寸逐渐减小;所述第二外延层还包括多个P+型区域,多个所述P+型区域分别位于所述栅极沟槽沿第二方向的两侧,且位于所述第二外延层中的P型体区内,所述P+型环结构与多个所述P+型区域同时制备;其中,所述第一方向为所述第一外延层厚度方向。
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