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龙图腾网恭喜江苏协鑫特种材料科技有限公司申请的专利一种用于化学气相沉积炉的导气装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119194407B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411144296.4，技术领域涉及：C23C16/455；该发明授权一种用于化学气相沉积炉的导气装置是由于伟华;黄修康;王彬;冷箫宇;朱超设计研发完成，并于2024-08-20向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于化学气相沉积炉的导气装置在说明书摘要公布了：本申请涉及化学气相沉积技术领域，且公开了一种用于化学气相沉积炉的导气装置，主要由分散机构和动力机构构成，所述分散机构固定设置在炉体的内部顶端，所述分散机构包括分散管道、固定管、固定件和固定膜，所述炉体的顶端中部固定设置有动力机构，且动力机构与分散机构固定连接。本发明当固定管排放气体时，利用动力机构可驱动固定件在固定管内上下移动，实现固定管的固定腔空间变化，当固定腔被固定件压缩空间时，移入固定腔且由出气口排出的原料气体被瞬时推动，有效增大气流的瞬时冲击力，由此固定管能够往复改变气流流速，使得瞬时冲击力有效冲击出气口可能积存的沉淀物，实现对出气口沉淀物的有效清理。

本发明授权一种用于化学气相沉积炉的导气装置在权利要求书中公布了：1.一种用于化学气相沉积炉的导气装置，其特征在于，包括：沉积炉机构（1），所述沉积炉机构（1）包括炉体（11）；排气机构（3），所述排气机构（3）包括排气管（31）、分散机构（4）和动力机构（5），所述排气管（31）与炉体（11）固定连接，用于向炉体（11）内通入原料气体；所述分散机构（4）固定设置在炉体（11）的内部顶端，包括分散管道（41）、固定管（42）、固定件（43）和固定膜（44），所述分散管道（41）的一侧与排气管（31）的一端固定连通，且分散管道（41）的底端固定连通有固定管（42），所述固定管（42）的内部开设有固定腔，且固定管（42）的中部侧壁开设有出气口，所述固定管（42）的下端与固定件（43）活动套接，且固定件（43）的顶端边缘与固定管（42）的底端边缘之间通过固定膜（44）固定连接；所述炉体（11）的顶端中部固定设置有所述动力机构（5），且动力机构（5）与分散机构（4）固定连接，用于为分散机构（4）的改变提供动力来源；冷却机构（6），所述分散机构（4）的下方固定设置有冷却机构（6），用于对刚排出分散机构（4）的原料气体降温；所述冷却机构（6）包括：冷却管道（61），所述冷却管道（61）的形状由两个直杆和一个圆环组成，且冷却管道（61）的直杆与炉体（11）的两侧壁面固定套接，冷却管道（61）的圆环与分散管道（41）的底端固定连接，所述冷却管道（61）的内部开设有冷却腔，且冷却管道（61）的冷却腔一端为进水口，冷却管道（61）的冷却腔另一端为出水口；限位机构（7），所述冷却管道（61）的底端固定设置有限位机构（7），且限位机构（7）环绕在固定管（42）的外部，所述限位机构（7）与固定管（42）一一对应；所述限位机构（7）包括：限位件（71），所述限位件（71）的顶端开设有限位腔，且限位腔与冷却管道（61）的冷却腔固定连通，所述限位件（71）为螺旋设置，且限位件（71）的螺旋度数≥180度，所述限位件（71）的数量为三，且环绕固定管（42）均匀设置，所述限位件（71）的顶端开设有螺旋槽，且限位件（71）的内侧壁面相较于限位件（71）的外侧壁面高度低，相邻两个所述限位件（71）的外侧壁面相接触，且限位件（71）的位置与固定管（42）的出气口一一对应；分隔板（72），所述限位件（71）的限位腔内固定套接有分隔板（72），所述限位件（71）通过分隔板（72）将限位腔分割为内腔和外腔，且内腔的底端和外腔的底端连通；缓冲囊（73），位于所述螺旋槽内的限位件（71）外侧壁面固定连接有缓冲囊（73），且缓冲囊（73）的数量若干，所述缓冲囊（73）为耐高温的橡胶材质，且缓冲囊（73）的内壁固定连接有横弹簧；水管（74），所述缓冲囊（73）的底端与水管（74）的一端固定连通，且水管（74）的另一端与限位件（71）的限位腔固定连通。

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