买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网恭喜深圳市和科达半导体设备有限公司申请的专利流水式晶圆清洗机获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118943051B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410993810.5，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权流水式晶圆清洗机是由谢柏弘;何若飞;赖建华;陈伯诚设计研发完成，并于2024-07-23向国家知识产权局提交的专利申请。

本流水式晶圆清洗机在说明书摘要公布了：一种流水式晶圆清洗机包括浸泡槽单元、刷洗槽单元以及风洗单元，晶圆存储架对接所述浸泡槽单元的入口，碾压式的传送带贯穿于所述浸泡槽单元、刷洗槽单元以及风洗单元，所述碾压式的传送带包括上下位置对应设置的上传送带和下传送带，所述上传送带的下表面与下传送带上表面之间的间距与晶圆直径相适应，所述由浸泡槽单元入口至刷洗槽单元出口的传送带呈逐步上升的坡道。本发明采用上述的结构设计，使得这种清洗机能够实现流水线式作业，提高清洗效率，并且可以加入自动化生产线中，采用分段式碾压驱动的设计，防止晶圆在流过流水线过程中将上工序的清洗液带到下工序的问题，延长清洗液的使用寿命。

本发明授权流水式晶圆清洗机在权利要求书中公布了：1.一种流水式晶圆清洗机，其特征在于：该清洗机包括依次设置的浸泡槽单元（100）、刷洗槽单元（200）以及风洗单元（300），晶圆存储架对接所述浸泡槽单元（100）的入口，碾压式的传送带（10）贯穿于所述浸泡槽单元（100）、刷洗槽单元（200）以及风洗单元（300），所述碾压式的传送带（10）包括上下位置对应设置的上传送带（11）和下传送带（12），所述上传送带（11）的下表面与下传送带（12）上表面之间的间距与晶圆直径相适应，所述上传送带（11）由第一驱动装置（13）驱动滚动，所述下传送带（12）由第二驱动装置（14）驱动滚动，所述第一驱动装置（13）和第二驱动装置（14）均受控于控制系统（20），所述浸泡槽单元（100）入口至刷洗槽单元（200）出口的传送带呈逐步上升的坡道。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人深圳市和科达半导体设备有限公司，其通讯地址为：518000 广东省深圳市宝安区松岗街道朗下社区茅洲工业区C3栋201；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。