江苏芯格电子科技有限公司张俊获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏芯格电子科技有限公司申请的专利一种圆晶加工用清洗装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222705465U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-01发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421440291.1，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种圆晶加工用清洗装置是由张俊;李凤丽设计研发完成，并于2024-06-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种圆晶加工用清洗装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种高效率圆晶加工用清洗装置，尤其涉及一种圆晶加工用清洗装置，包括清洗箱，所述清洗箱的上表面与盖板的下表面贴合，通过将晶圆放置在下侧网盒内部，转动转盘带动螺杆a和螺杆b旋转，螺杆a和螺杆b旋转带动两个螺纹套、两个网盒相互靠近对晶圆进行存储，气缸带动放置板和晶圆向下移动，将晶圆浸入清洗箱内部的清洗液内，伺服电机带动齿轮a和齿轮b旋转，齿轮b旋转带动放置板、网盒和晶圆进行旋转，配合清洗箱内部的清洗液对晶圆进行全面冲洗，解决了现有装置在清洗过程中只能对单个晶圆进行夹持和清洗，且清洗过程中晶圆不能实现翻转只能对清洗面进行清洗，严重影响了晶圆清洗效率的问题。
本实用新型一种圆晶加工用清洗装置在权利要求书中公布了：1.一种圆晶加工用清洗装置，包括清洗箱1，其特征在于：所述清洗箱1的上表面与盖板2的下表面贴合，所述盖板2上表面的轴承内安装有连接柱6，所述连接柱6的底端与放置板8的上表面固接，所述连接柱6的外表面设置有旋转组件，所述放置板8的上表面对称开设有若干放置孔10，所述放置孔10内壁的背面固接有连接架12，所述连接架12内壁的正面分别与两个网盒135的背面滑动连接，所述连接架12的内部设置有固定组件，所述清洗箱1内壁的左右两侧面分别固接有两个升降架3，所述升降架3的内部设置有升降组件，所述清洗箱1的下表面与排料管9的顶端相连通。
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