芯恩(青岛)集成电路有限公司吴祥芳获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉芯恩(青岛)集成电路有限公司申请的专利晶圆状况监控装置及半导体设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222705467U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-01发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421452514.6，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型晶圆状况监控装置及半导体设备是由吴祥芳;杨晓攀设计研发完成，并于2024-06-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆状况监控装置及半导体设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种晶圆状况监控装置及半导体设备，包括：图像采集单元、识别判断单元、控制器以及报警器；图像采集单元设于主框架室与晶圆传输室的连接处，图像采集单元用于拍摄晶圆正面或晶圆背面得到晶圆图像；识别判断单元与图像采集单元连接，识别判断单元用于识别晶圆图像中是否有识别码并判断晶圆朝向是否正确；控制器与图像采集单元、识别判断单元、报警器控制连接，在识别到晶圆朝向不正确时，控制器控制报警器发出警报；其中，主框架室与工艺腔室连接，晶圆承载台设于晶圆传输室远离主框架室的一侧。通过对晶圆上识别码进行判断识别，以在晶圆朝向错误时及时发出警报提醒操作人员采取措施，避免翻转异常晶圆直接进入后续工艺制程。
本实用新型晶圆状况监控装置及半导体设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆状况监控装置，其特征在于，包括：图像采集单元、识别判断单元、控制器以及报警器；所述图像采集单元设于主框架室与晶圆传输室的连接处，所述图像采集单元用于拍摄晶圆正面或晶圆背面得到晶圆图像；所述识别判断单元与所述图像采集单元连接，所述识别判断单元用于识别所述晶圆图像中是否有识别码并判断所述晶圆朝向是否正确；所述控制器与所述图像采集单元、所述识别判断单元、所述报警器控制连接，在识别到所述晶圆朝向不正确时，所述控制器控制所述报警器发出警报；其中，所述主框架室与工艺腔室连接，所述晶圆承载台设于所述晶圆传输室远离所述主框架室的一侧。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人芯恩(青岛)集成电路有限公司，其通讯地址为：266000 山东省青岛市黄岛区太白山路19号德国企业南区401；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号