苏州康沃斯智能装备有限公司高波获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州康沃斯智能装备有限公司申请的专利用于晶圆生产的理边机获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222696871U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-01发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202420924919.9,技术领域涉及:B24B41/06;该实用新型用于晶圆生产的理边机是由高波设计研发完成,并于2024-04-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于晶圆生产的理边机在说明书摘要公布了:本实用新型公开了用于晶圆生产的理边机,涉及晶圆加工技术领域,包括横板,所述横板的下端安装有U形板,所述横板的上端右部设置有可转动的转动板,所述横板的上端中左部安装有吸尘部件,所述U形板内安装有转动部件,所述转动板的上端安装有两个左右对称分布的空心柱,两个所述空心柱的上端均设置有吸盘,两个所述空心柱的内部均安装有第一电机,两个所述第一电机的输出端分别活动贯穿两个空心柱的上端并分别与两个吸盘的下端固定连接。本实用新型通过设置转动部件和转动板和两个吸盘共同配合能够提高工作效率,方便对晶圆进行加工,减少时间上的浪费,提高了产能,通过设置吸尘部件能够对加工产生的碎屑进行收集,减少清理工作的频率。
本实用新型用于晶圆生产的理边机在权利要求书中公布了:1.用于晶圆生产的理边机,包括横板1,其特征在于:所述横板1的下端安装有U形板11,所述横板1的上端右部设置有可转动的转动板8,所述横板1的上端中左部安装有吸尘部件4,所述U形板11内安装有转动部件12,所述转动板8的上端安装有两个左右对称分布的空心柱9,两个所述空心柱9的上端均设置有吸盘10,两个所述空心柱9的内部均安装有第一电机13,两个所述第一电机13的输出端分别活动贯穿两个空心柱9的上端并分别与两个吸盘10的下端固定连接。
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