无锡旭邦精密机械有限公司曹刚获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡旭邦精密机械有限公司申请的专利一种晶圆清洗花篮获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222705470U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-01发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420805300.6，技术领域涉及：H01L21/673；该实用新型一种晶圆清洗花篮是由曹刚设计研发完成，并于2024-04-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆清洗花篮在说明书摘要公布了：本实用新型属于半导体晶圆清洗装置技术领域，尤其涉及一种晶圆清洗花篮，包括固定柱和放置篮，放置篮设置于固定柱侧面，固定柱底面固定安装有固定底座，放置篮内部设置有调节单元，调节单元包括卡接件、滑槽、隔板、插板和插槽。该晶圆清洗花篮，通过在放置篮内壁开设滑槽并在滑槽内安装隔板能够对不同尺寸的晶圆进行放置，适用不同尺寸的晶圆进行调节放置空间进行清洗提高清洗效果，在放置篮内底面和内壁均贯穿进液孔使得清洗液能够快速将晶圆进行浸没清洗，通过设置旋转机构能够在对放置篮内部的晶圆进行清洗时带动放置篮进行旋转提高清洗效果，设置升降机构便于在清洗时能够调节放置篮在超声波清洗液中的浸没深度对晶圆进行清洗。
本实用新型一种晶圆清洗花篮在权利要求书中公布了：1.一种晶圆清洗花篮，包括固定柱1和放置篮314，所述放置篮314设置于固定柱1侧面，所述固定柱1底面固定安装有固定底座2，其特征在于：所述放置篮314内部设置有调节单元；所述调节单元包括卡接件315、滑槽318、隔板319、插板320和插槽321，所述卡接件315固定安装于放置篮314侧面，所述滑槽318开设于放置篮314内壁，所述隔板319安装于滑槽318内壁，所述插板320插接于滑槽318内壁，所述插槽321开设于插板320上表面，所述隔板319侧面与插板320之间通过插槽321插接连接。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人无锡旭邦精密机械有限公司，其通讯地址为：214000 江苏省无锡市新吴区梅村街道新都路18号3号厂房；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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