恭喜隆基绿能科技股份有限公司张彤获国家专利权
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龙图腾网恭喜隆基绿能科技股份有限公司申请的专利一种镀膜装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222700401U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-01发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420599803.2，技术领域涉及：C23C14/54；该实用新型一种镀膜装置是由张彤;杜海录;芦晓康;孙玉梁;陈哲;王建波;徐希翔设计研发完成，并于2024-03-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种镀膜装置在说明书摘要公布了：本申请公开了一种镀膜装置，包括：镀膜腔和补偿板，镀膜腔内设有镀膜源，用于对工件进行镀膜；补偿板设于镀膜腔内，补偿板包括相对的第一端和第二端，第一端连接于镀膜腔的腔壁，第二端延伸至镀膜源与工件之间，第二端的边缘形成有凹凸结构，用于调节工件表面的膜层分布均匀性。利用补偿板上的凹凸结构可以对镀膜源上方不同区域形成不同的遮挡作用，进而，可以影响由镀膜源产生的镀膜材料在工件表面不同区域的沉积量，从而实现了对工件表面的膜层分布均匀性的精准调节作用，且不受工件的镀膜面积限制，适应性更强。
本实用新型一种镀膜装置在权利要求书中公布了：1.一种镀膜装置，其特征在于，包括：镀膜腔，所述镀膜腔内设有镀膜源，用于对工件进行镀膜；补偿板，补偿板设于所述镀膜腔内，所述补偿板包括相对的第一端和第二端，所述第一端安装于所述镀膜腔的腔壁，所述第二端延伸至所述镀膜源与所述工件之间，所述第二端的边缘形成有凹凸结构，用于调节所述工件表面的膜层分布均匀性。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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