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恭喜中国科学院长春光学精密机械与物理研究所王之一获国家专利权

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龙图腾网恭喜中国科学院长春光学精密机械与物理研究所申请的专利色散共焦测量系统及其测量方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115790373B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-01发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211444460.4,技术领域涉及:G01B11/00;该发明授权色散共焦测量系统及其测量方法是由王之一;杨禹凯;王廷煜;糜小涛;王建立;杨永强设计研发完成,并于2022-11-18向国家知识产权局提交的专利申请。

色散共焦测量系统及其测量方法在说明书摘要公布了:本发明提供一种色散共焦测量系统及其测量方法,色散共焦测量系统通过第一测量单元进行位置测量,第二测量单元进行倾斜角度测量,在测量位置信息的同时,实时测量待测物待测点处法向倾斜角度。色散共焦测量方法依据采集的对应共焦波长的光强分布数据,以质心法获得反射光束光斑的质心位置,结合首先确定的位置信息,通过数学模型计算出二维倾斜角度,实现了位置与倾角的实时检测,且具有低成本、高精度、测量范围广、动态响应速度快、信噪比高等优势。

本发明授权色散共焦测量系统及其测量方法在权利要求书中公布了:1.一种色散共焦测量系统,其特征在于,包括第一测量单元和第二测量单元;其中,所述第一测量单元包括依次沿光路设置的光源组件、第一分束镜、第二分束镜、色散物镜和信号接收组件;所述光源组件发出的光束经所述第一分束镜反射、第二分束镜透射和所述色散物镜透射后,入射至待测物表面,经所述待测物表面反射回的光束依次经所述色散物镜、所述第二分束镜和所述第一分束镜透射至所述信号接收组件,根据所述信号接收组件所接收到的光谱信号进行分析,获得所述待测物表面待测点的位置信息;所述第二测量单元包括依次沿光路设置的聚焦透镜、第三分束镜、第一柱面镜、第一线阵探测器、第二柱面镜和第二线阵探测器;经所述待测物表面反射回的光束依次经所述色散物镜透射、所述第二分束镜反射至所述聚焦透镜进行准直后,入射至所述第三分束镜进行分光,透射光束依次入射至所述第一柱面镜和所述第一线阵探测器,反射光束依次入射至所述第二柱面镜和所述第二线阵探测器,采集所述第一线阵探测器和所述第二线阵探测器的数据,通过对所述数据进行分析,获取所述待测物表面待测点的倾斜角度信息;结合所述第一测量单元获得的所述待测物表面待测点的位置信息,进而同时获取所述待测物的表面位置信息和倾角信息;所述信号接收组件包括第一共焦针孔、光接收单元;经所述待测物反射的光束入射至所述第一共焦针孔滤波后,入射至所述光接收单元,通过分析所述光接收单元的数据得到所述待测物表面的位置信息;所述第二测量单元还包括第二共焦针孔;经所述待测物表面反射回的光束依次经所述色散物镜透射、所述第二分束镜反射至所述第二共焦针孔进行滤波。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,其通讯地址为:130033 吉林省长春市东南湖大路3888号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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