恭喜上海交通大学刘武获国家专利权
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龙图腾网恭喜上海交通大学申请的专利二维矢量7字形连接梁多用途传感器及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115166289B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-01发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210786283.1,技术领域涉及:G01P5/08;该发明授权二维矢量7字形连接梁多用途传感器及其制备方法是由刘武;周南彦;卢建勋;方建凤;张馨薇;朱文昊;周子淇;符柏鹏设计研发完成,并于2022-07-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本二维矢量7字形连接梁多用途传感器及其制备方法在说明书摘要公布了:一种二维矢量7字形连接梁多用途传感器及其制备方法,包括:基底、通过若干连接梁悬空设置于基底中心的质量块、分别位于质量块四周公共端的作为检测部分的梳齿电容、设置于质量块上的纤毛以及位于梳齿电容和基底四个角落上方的电极层,其中:四组梳齿电容与质量块构成板间差分电容,平行于X轴方向的梳齿电容对用于检测X轴方向的流场流速或加速度的大小和方向,平行于Y轴方向的梳齿电容对用于检测Y轴方向的流场流速或加速度的大小和方向。本发明通过传感器上的纤毛捕捉空气流场变化,传感器的质量块感知加速度变化。
本发明授权二维矢量7字形连接梁多用途传感器及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种二维矢量7字形梁多用途传感器,其特征在于,包括:基底、通过若干连接梁悬空设置于基底中心的质量块、分别位于质量块四周公共端的作为检测部分的梳齿电容、设置于质量块上的纤毛以及位于梳齿电容和基底四个角落上方的电极层,其中:四组梳齿电容与质量块构成板间差分电容,平行于X轴方向的梳齿电容对用于检测X轴方向的流场流速或加速度的大小和方向,平行于Y轴方向的梳齿电容对用于检测Y轴方向的流场流速或加速度的大小和方向;所述的连接梁共八根,每两根一组分别设置于质量块的一角实现质量块的悬空设置,每组连接梁之间呈锐角设置以具有更小的刚度,具体刚度其中:La和Lb为7字形连接梁两个部分的长度,E为硅的杨氏模量,t为梁的厚度,w为梁的宽度,θ为两个部分的夹角。
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