恭喜株式会社荏原制作所富田正辉获国家专利权
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龙图腾网恭喜株式会社荏原制作所申请的专利阳极室的液体管理方法和镀敷装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115885063B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-01发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202280005429.2,技术领域涉及:C25D21/12;该发明授权阳极室的液体管理方法和镀敷装置是由富田正辉;増田泰之设计研发完成,并于2022-06-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本阳极室的液体管理方法和镀敷装置在说明书摘要公布了:一种阳极室的液体管理方法,包括如下步骤:准备镀敷槽,上述镀敷槽配置有阳极和与上述阳极的上表面接触或者紧贴的隔膜,并具备由上述隔膜分隔出的上方的阴极室和下方的阳极室以及与上述阳极室连通而用于从上述阳极室向上述镀敷槽的外部排出气泡的排气通路;在上述阳极室和上述阴极室保持镀敷液,并使上述阳极室的镀敷液的液面亦即上述排气通路内的镀敷液的液面比上述阴极室的镀敷液的液面低;基于配置于上述排气通路内的液面传感器的输出,辨别上述排气通路内的镀敷液的液面的高度是否不足规定高度;以及在辨别为上述排气通路内的镀敷液的液面的高度不足规定高度时,对上述阳极室供给纯水或者电解液。
本发明授权阳极室的液体管理方法和镀敷装置在权利要求书中公布了:1.一种阳极室的液体管理方法,其特征在于,包括如下步骤:准备镀敷槽,所述镀敷槽配置有阳极和与所述阳极的上表面接触或者紧贴的隔膜,并具备由所述隔膜分隔出的上方的阴极室和下方的阳极室以及与所述阳极室连通而用于从所述阳极室向所述镀敷槽的外部排出气泡的排气通路;在所述阳极室和所述阴极室保持镀敷液,并使所述阳极室的镀敷液的液面亦即所述排气通路内的镀敷液的液面比所述阴极室的镀敷液的液面低;基于配置于所述排气通路内的液面传感器的输出,辨别所述排气通路内的镀敷液的液面的高度是否不足规定高度;以及在辨别为所述排气通路内的镀敷液的液面的高度不足规定高度时,对所述阳极室供给纯水或者电解液。
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