恭喜杭州盾源聚芯半导体科技有限公司马潇获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网恭喜杭州盾源聚芯半导体科技有限公司申请的专利一种硅片粘蜡装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114566441B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111459661.7，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种硅片粘蜡装置及方法是由马潇;叶天爱;李长苏设计研发完成，并于2021-12-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种硅片粘蜡装置及方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种硅片粘蜡装置及方法，旨在解决硅片粘蜡操作不便的不足。该发明包括机架、加热台、传送板、冷却托板，传送板置于加热台下方，传送板可移动设置，冷却托板和加热台横向错开设置，加热台下方安装升降台，升降台上设有若干顶块，传送板上和顶块对应设有避让槽，顶块可穿过避让槽；冷却托板上安装冷却风扇；冷却托板可升降安装在机架上。这种硅片粘蜡装置方便了石英锭盘的加热操作，加热后的石英锭盘取用操作方便，在同一装置上实现石英锭盘的加热和冷却，操作更加便捷，而且能够加快冷却速度。
本发明授权一种硅片粘蜡装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种硅片粘蜡方法，其特征是，包括以下步骤：S1，在加热台上表面和传送板上装载石英锭盘，传送板向加热台下方移动使避让槽和顶块对准；S2，升降台向上升起，升降台上的顶块穿过避让槽并顶在石英锭盘上，使石英锭盘贴合到加热台下表面上；S3，加热台对石英锭盘进行恒温加热；S4，加热台下方的石英锭盘加热完成后，升降台向下移动回位使加热台下方的石英锭盘支撑到传送板上，将传送板向外拉出到冷却托板上方，并将涂蜡后的硅片粘到石英锭盘上；加热台上方的石英锭盘加热完成后，冷却托板向上移动到与加热台上表面平齐位置，将加热台上表面上的石英锭盘推动至冷却托板上，并将涂蜡后的硅片粘到石英锭盘上；S5，硅片与石英锭盘粘住后，驱动冷却风扇进行冷却降温，降温完成后取下石英锭盘。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人杭州盾源聚芯半导体科技有限公司，其通讯地址为：310051 浙江省杭州市滨江区滨康路668号C幢；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号