扬州国润半导体科技有限公司谈国敏获国家专利权
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龙图腾网获悉扬州国润半导体科技有限公司申请的专利一种晶圆清洗装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222720352U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-04发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421198248.9，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种晶圆清洗装置是由谈国敏;周峰设计研发完成，并于2024-05-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆清洗装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体加工技术领域，且公开了一种晶圆清洗装置，包括清洗箱，清洗箱内部设置有滤网，清洗箱上端两侧均固定安装有固定架，是固定架内部设置有清理机构，清理机构包括：装置腔、螺杆、套筒、连接杆、清洗架、支撑板、电机、喷头，同时使用者可以启动喷头进行喷水清理工作，此时通过多组喷头进行喷洒水对滤网表面的多组晶圆进行清理，然后使用者可以进行反向转动电机，从而使得螺杆表面的套筒进行向右移动回正，进而通过清洗架的由左到右移动，从而对滤网表面的晶圆全部进行轻微的清洗，去除晶圆表面的灰尘，并且通过滤网使得对晶圆表面的杂质进行过滤，从而使得晶圆表面的杂质可以进行掉落，从而提高该装置的清洗效果。
本实用新型一种晶圆清洗装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆清洗装置，包括清洗箱1，所述清洗箱1内部设置有滤网2，其特征在于：所述清洗箱1上端两侧均固定安装有固定架5，是固定架5内部设置有清理机构3，所述清理机构3包括：装置腔31，所述装置腔31开设在固定架5内部，所述装置腔31内壁通过轴套转动连接有螺杆32，所述螺杆32表面螺纹连接有套筒33，所述套筒33侧壁固定安装有连接杆34一端，所述连接杆34另一端设置有清洗架35，所述固定架5侧壁固定安装有支撑板36；电机37，所述电机37固定安装在支撑板36上端，所述电机37输出轴贯穿装置腔31且与螺杆32端部固定连接，所述清洗架35下端设置有若干组喷头38，所述连接杆34处设置有移动结构4。
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