芯钛科半导体设备(上海)有限公司沈凯获国家专利权
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龙图腾网获悉芯钛科半导体设备(上海)有限公司申请的专利一种适用于不同尺寸晶圆的可调节Mapping支架获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222720378U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-04发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421186032.0,技术领域涉及:H01L21/68;该实用新型一种适用于不同尺寸晶圆的可调节Mapping支架是由沈凯设计研发完成,并于2024-05-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种适用于不同尺寸晶圆的可调节Mapping支架在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种适用于不同尺寸晶圆的可调节Mapping支架,属于晶圆技术领域,包括固定架和活动臂,活动臂有两个,两个活动臂沿同一方向相对活动地连接在固定架上,每个活动臂上均安装有锁紧件和定位件,锁紧件用于将活动臂锁定在固定架上的任意位置,定位件用于将活动臂限定在固定架上的预定位置,固定架上对应地设有与定位件相适配的若干个定位槽。本实用新型结构简单且设计合理,通过调节两个活动臂之间的相对位置,从而能够适配于不同尺寸晶圆的mapping情形检测。
本实用新型一种适用于不同尺寸晶圆的可调节Mapping支架在权利要求书中公布了:1.一种适用于不同尺寸晶圆的可调节Mapping支架,其特征在于:包括固定架(1)和活动臂(2),所述活动臂(2)有两个,两个所述活动臂(2)沿同一方向相对活动地连接在所述固定架(1)上,每个所述活动臂(2)上均安装有锁紧件(3)和定位件(4),所述锁紧件(3)用于将所述活动臂(2)锁定在所述固定架(1)上的任意位置,所述定位件(4)用于将所述活动臂(2)限定在所述固定架(1)上的预定位置,所述固定架(1)上对应地设有与所述定位件相适配的若干个定位槽(5)。
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