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龙图腾网获悉深圳市荣者光电科技发展有限公司申请的专利一种用于GaAs光电阴极键合的制备夹具获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222720397U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-04发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421168007.X，技术领域涉及：H01L21/687；该实用新型一种用于GaAs光电阴极键合的制备夹具是由吴波;刘东;吴彦文;周强设计研发完成，并于2024-05-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于GaAs光电阴极键合的制备夹具在说明书摘要公布了：本实用新型提出了一种用于GaAs光电阴极键合的制备夹具，包括阴极托盘、定位柱、弹簧、AVG托盘、防光晕阴极玻璃、砷化镓外延片、外延片底座、外延片定位环、阴极压力盘、钢珠。本实用新型的优点在于：零件容易更换维修，结构设计简单，易于操作。实现了内部工作区域与外部环境的分离，杜绝过程颗粒物的引入。对AVG玻璃与砷化镓外延片进行限位，人工转运及键合时防止AVG玻璃与砷化镓外延片产生错位导致键合失败。夹具设计考虑温度稳定性，键合时保证温度均匀性使AVG玻璃与砷化镓外延片有效粘接，提高产品合格率。退火温度稳定，退火速率稳定，有着无需退火点也可从键合温度自由降温至室温无应力的表现，可减少退火温度点，减少键合时间，提高键合效率。

本实用新型一种用于GaAs光电阴极键合的制备夹具在权利要求书中公布了：1.一种用于GaAs光电阴极键合的制备夹具，其特征在于，包括阴极托盘1、定位柱2、弹簧3、AVG托盘4、防光晕阴极玻璃5、砷化镓外延片6、外延片底座7、外延片定位环8、阴极压力盘9、钢珠10，其中阴极托盘1、定位柱2、AVG托盘4、外延片底座7、外延片定位环8、阴极压力盘9的材质为石墨；所述阴极托盘1底部阶梯孔与定位柱2起固定作用，所述阴极托盘1中间凹孔嵌套弹簧3；所述定位柱为T型结构，所述弹簧3为支撑作用，使AVG托盘4中的防光晕阴极玻璃5与砷化镓外延片6处于分离状态；所述AVG托盘4在压合的状态下起导向作用，中间台阶孔放置防光晕阴极玻璃5保持同轴心；所述外延片底座7边缘孔位避开与弹簧3干涉，其两端精磨平面分别与阴极托盘1、砷化镓外延片6、外延片定位环8贴合；所述外延片定位环8边缘孔位避开与弹簧3干涉，中间孔位镶嵌砷化镓外延片6；所述阴极压力盘9在压合的状态下起导向作用、中间肓孔放置钢珠10；所述钢珠10为光滑球体，传递外部动力与夹具中间介质。

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