恭喜上海昶火微电子科技有限公司殷智俊获国家专利权
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龙图腾网恭喜上海昶火微电子科技有限公司申请的专利一种小同步带硅片发片系统获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222714599U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-04发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202420369812.2,技术领域涉及:B65G59/06;该实用新型一种小同步带硅片发片系统是由殷智俊;潘吉;谢超伟设计研发完成,并于2024-02-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种小同步带硅片发片系统在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种小同步带硅片发片系统,包括Z轴升降模组、硅片花篮、硅片矫正导向机构、无接触发片机结构和花篮输送机,所述一号驱动电机、输送同步带和无接触轨道共同组成无接触发片机结构,所述二号驱动电机和限位滚轮构成硅片矫正导向机构,所述Z轴升降模组的X轴方向滑动连接有硅片花篮,所述Z轴升降模组内侧面滑动连接有花篮输送机,本实用新型通过采用较小的尺寸,同步带传动可以直接插入花篮底部空间,只需要单台伺服电机驱动,无需增加额外的伺服电机,采用无接触传动,硅片传动过程中不会与输送线体产生接触,大大提高硅片进行后序工艺的加工效果。
本实用新型一种小同步带硅片发片系统在权利要求书中公布了:1.一种小同步带硅片发片系统,包括Z轴升降模组(6)、硅片花篮(7)、硅片矫正导向机构、无接触发片机结构和花篮输送机(10),其特征在于:包括一号驱动电机(1)、输送同步带(2)和无接触轨道(3)共同组成无接触发片机结构,还包括二号驱动电机(4)和限位滚轮(5)构成硅片矫正导向机构,所述Z轴升降模组(6)的X轴方向滑动连接有硅片花篮(7),所述Z轴升降模组(6)内侧面滑动连接有花篮输送机(10)。
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