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龙图腾网恭喜大连皓宇电子科技有限公司申请的专利工艺腔室独立调度方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117153733B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311223752.X，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权工艺腔室独立调度方法是由孙昊强;史常龙;徐家庆;唐丽娜设计研发完成，并于2023-09-21向国家知识产权局提交的专利申请。

本工艺腔室独立调度方法在说明书摘要公布了：本发明公开了工艺腔室独立调度方法，包括：将晶圆盒进行地图扫描，得到晶圆盒内存在的晶圆片数、每个晶圆传输路线和工艺任务；根据晶圆传输路线和工艺任务得到每个晶圆要进入的工艺腔室，然后将晶圆ID及工艺任务依次发送给相应工艺腔室的调度中；通过工艺腔室的调度形成一任务池；每个工艺腔室根据工艺任务提前准备相应的执行条件；将当前晶圆携带的工艺任务与工艺腔室任务池的当前工艺任务进行对比，如果相同，则允许当前晶圆进入工艺腔室；进入工艺腔室的多个晶圆执行完相同工艺任务后，从任务池中删除该项工艺任务，工艺腔室为下一项任务提前准备相应的执行条件。本方法中工艺腔室提前准备该工艺的相关执行条件，且具有校验功能。

本发明授权工艺腔室独立调度方法在权利要求书中公布了：1.工艺腔室独立调度方法，其特征在于，包括：将晶元盒进行地图扫描，得到晶元盒内存在的晶圆片数、每个晶圆传输路线和工艺任务；根据晶圆传输路线和工艺任务得到每个晶圆要进入的工艺腔室，然后将晶圆ID及工艺任务依次发送给相应工艺腔室的调度中；通过工艺腔室的调度形成一任务池，基于该任务池获知工艺腔室的工艺任务；每个工艺腔室根据工艺任务提前准备相应的执行条件；将当前晶圆携带的工艺任务与工艺腔室任务池的当前工艺任务进行对比，如果相同，则允许当前晶圆进入工艺腔室；如果不同，则进行报警；进入工艺腔室的多个晶圆执行完相同工艺任务后，从任务池中删除该项工艺任务，工艺腔室为下一项任务提前准备相应的执行条件；所述工艺腔室设有4个station，工艺任务为2×2station运转模式或4×1station运转模式；如果工艺任务为2×2station运转模式，则具体实现方式为：1号晶圆、2号晶圆坐落在加热器上后直接进行第一次沉积，第一次沉积完成后升降旋转托运器上升，托起晶圆顺时针旋转180°后下降，1号晶圆、2号晶圆位于新的加热器上；真空机械臂将3号晶圆、4号晶圆送进工艺腔室内，坐落在原加热器上，此时1号晶圆、2号晶圆进行第二次沉积，3号晶圆、4号晶圆进行第一次沉积，沉积后升降旋转托运器上升，托起晶圆顺时针旋转180°后下降，然后真空机械臂将1号晶圆、2号晶圆取出，放入5号晶圆、6号晶圆进行沉积，如此循环；如果工艺任务为4×1station运转模式，则具体实现方式为：1号晶圆、2号晶圆坐落在加热器上,升降旋转托运器上升，托起晶圆顺时针旋转180°后下降，1号晶圆、2号晶圆位于新的加热器上；真空机械臂将3号晶圆、4号晶圆送进工艺腔室内，坐落在原加热器上，此时4个晶圆均进行第一次沉积，第一次沉积完成后真空机械臂将3号晶圆、4号晶圆取出，放入5号晶圆、6号晶圆后，升降旋转托运器上升托起晶圆顺时针旋转180°后下降，真空机械臂将1号晶圆、2号晶圆取出，放入7号晶圆、8号晶圆，如此循环。

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