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恭喜西北核技术研究所;中国电子科技集团公司第二十四研究所马武英获国家专利权

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龙图腾网恭喜西北核技术研究所;中国电子科技集团公司第二十四研究所申请的专利一种基于钛阻挡吸收层的双极器件及其抗辐射加固方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116666364B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-04发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310806609.7,技术领域涉及:H01L23/552;该发明授权一种基于钛阻挡吸收层的双极器件及其抗辐射加固方法是由马武英;欧阳晓平;王志宽;何宝平;缑石龙设计研发完成,并于2023-07-03向国家知识产权局提交的专利申请。

一种基于钛阻挡吸收层的双极器件及其抗辐射加固方法在说明书摘要公布了:本发明涉及一种基于钛阻挡吸收层的双极器件,包括依次相接的氧化层、薄钝化层、钛层、完整钝化层,钛层用于实现对氢的阻挡和吸附,钛层厚度为50~200nm,大于薄钝化层的厚度,小于完整钝化层的厚度。涉及一种基于钛阻挡吸收层的双极器件制作方法,包括器件设计、生长钛层、封装与测试。还涉及一种基于钛阻挡吸收层的双极器件抗辐射加固方法,包括步骤抗辐射性能试验,测试双极器件的总剂量损伤阈值,确定钛层厚度。本发明双极器件包括钛层,减少了氧化层中辐射感生缺陷形成要素氢含量,从根本抑制了辐射感生界面陷阱的形成过程,提高了双极器件的抗辐射能力。

本发明授权一种基于钛阻挡吸收层的双极器件及其抗辐射加固方法在权利要求书中公布了:1.一种基于钛阻挡吸收层的双极器件,包括氧化层4和钝化层;其特征在于,还包括钛层2;所述钝化层包括薄钝化层1和完整钝化层3;所述钛层2设置在所述薄钝化层1和完整钝化层3之间;所述钛层2为氢的阻挡吸收层,用于实现对氢的阻挡和吸附;所述钛层2的厚度大于所述薄钝化层1的厚度,小于所述完整钝化层3的厚度;基于钛阻挡吸收层的双极器件抗辐射加固方法,包括如下步骤:步骤1,抗辐射性能试验:选取基于钛阻挡吸收层的双极器件,按钛层2的厚度进行分组,按分组进行双极器件抗辐射性能试验;记录抗辐射性能试验中各组双极器件失效时的累积辐照总剂量,即为该组双极器件的总剂量损伤阈值;步骤2,确定钛层厚度:对比不同钛层2厚度的双极器件的总剂量损伤阈值,选择总剂量损伤阈值最高者为性能最优的双极器件,即为抗辐射加固双极器件的钛层厚度。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人西北核技术研究所;中国电子科技集团公司第二十四研究所,其通讯地址为:710024 陕西省西安市灞桥区平峪路28号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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