恭喜京东方科技集团股份有限公司;武汉京东方光电科技有限公司邵良武获国家专利权
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龙图腾网恭喜京东方科技集团股份有限公司;武汉京东方光电科技有限公司申请的专利一种高密度清洗设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115513095B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211139683.X，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种高密度清洗设备是由邵良武;张福刚;张勋泽;凌龙兴;杨昊;王召波设计研发完成，并于2022-09-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种高密度清洗设备在说明书摘要公布了：本发明公开了一种高密度清洗设备，该设备中设置有用于传送基板的清洗通道；清洗通道沿传送方向包括依次连接的液洗段和干燥段；在液洗段设置有液洗组件，在干燥段设置有干燥组件和导流组件；干燥组件被配置为，输出用于干燥基板的第一气流；第一气流的输出方向与基板的传送平面之间呈第一夹角，第一夹角为锐角；第一气流在基板上形成干燥作用区，以干燥液洗组件在基板表面产生的液体；导流组件被配置为，输出用于引导第一气流方向的第二气流；第二气流与第一气流相交，以增加干燥作用区的宽度和或干燥作用区气流对基板表面液体的剪切应力。本发明的高密度清洗设备能够增强对基板表面的干燥效率，降低了Open类不良的发生率。
本发明授权一种高密度清洗设备在权利要求书中公布了：1.一种高密度清洗设备，其特征在于，设置有用于传送基板的清洗通道；所述清洗通道沿传送方向包括依次连接的液洗段和干燥段；在所述液洗段设置有液洗组件，在所述干燥段设置有干燥组件和导流组件；所述干燥组件被配置为，输出用于干燥所述基板的第一气流；所述第一气流的输出方向与所述基板的传送平面之间呈第一夹角，所述第一夹角为锐角；所述第一气流在所述基板上形成干燥作用区，以干燥所述液洗组件在所述基板表面产生的液体；所述导流组件被配置为，输出用于引导所述第一气流方向的第二气流；所述第二气流与第一气流相交，以增加所述干燥作用区的宽度，和或所述干燥作用区气流对基板表面液体的剪切应力。
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