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龙图腾网恭喜北海惠科半导体科技有限公司申请的专利扩散设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115410905B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211048145.X，技术领域涉及：H01L21/22；该发明授权扩散设备是由宋修扬;孙军旗;赵利;孙玉群;任宏志设计研发完成，并于2022-08-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本扩散设备在说明书摘要公布了：本申请公开了一种扩散设备，包括碳化硅桨、炉管、固定支架和底座，底座的一端与炉管连接，碳化硅桨的一端与固定支架连接，另一端朝向炉管的炉口；扩散设备还包括抬升装置，抬升装置设置在底座靠近炉管的位置，且位于碳化硅桨的正下方，碳化硅桨上设置有角度传感器和计算模块；角度传感器与计算模块连接，计算模块与抬升装置连接；其中，以平行于所述底座的面为水平面，角度传感器用于记录碳化硅桨空载状态下与所述水平面之间的角度，以及碳化硅桨装载状态下与所述水平面之间的角度；计算模块用于计算碳化硅桨空载状态下和装载状态下的角度差值，并将信号传输给所述抬升装置；抬升装置将碳化硅桨抬升一预设角度，且预设角度等于角度差值。本申请能够改善由碳化硅桨装载晶圆后出现过度弯曲导致的位置误差。

本发明授权扩散设备在权利要求书中公布了：1.一种扩散设备，包括碳化硅桨、炉管、固定支架和底座，所述底座的一端与所述炉管连接，所述固定支架活动连接在所述底座远离所述炉管的一端，且所述固定支架可相对于所述底座朝所述炉管的方向移动；所述碳化硅桨的一端与所述固定支架连接，另一端朝向所述炉管的炉口；其特征在于，所述扩散设备还包括抬升装置，所述抬升装置设置在所述底座靠近所述炉管的位置，且位于所述碳化硅桨的正下方，所述碳化硅桨上设置有角度传感器和计算模块；所述角度传感器与所述计算模块连接，所述计算模块与所述抬升装置连接；其中，以平行于所述底座的面为水平面，所述角度传感器用于记录所述碳化硅桨空载状态下与所述水平面之间的角度，以及所述碳化硅桨装载状态下与所述水平面之间的角度；所述计算模块用于计算所述碳化硅桨空载状态下和装载状态下的角度差值，并将信号传输给所述抬升装置；所述抬升装置将所述碳化硅桨抬升一预设角度，且所述预设角度等于所述角度差值；所述抬升装置包括电子液压器，所述电子液压器的液压杆对应设置在所述碳化硅桨的正下方，且所述液压杆与所述碳化硅桨的底面抵接，所述液压杆用于抬升所述碳化硅桨；所述液压杆包括支撑托盘，所述支撑托盘设置在所述液压杆靠近所述碳化硅桨的一端，所述支撑托盘与所述碳化硅桨的底面抵接，所述支撑托盘与所述碳化硅桨的接触面的面积大于所述液压杆与所述碳化硅桨的接触面的面积。

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