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龙图腾网恭喜深圳市恒运昌真空技术股份有限公司申请的专利射频阻抗匹配装置和方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114518704B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111600893.X，技术领域涉及：G05B11/42；该发明授权射频阻抗匹配装置和方法是由乐卫平;姚志毅设计研发完成，并于2021-12-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本射频阻抗匹配装置和方法在说明书摘要公布了：本申请涉及一种射频阻抗匹配装置和方法，所述射频阻抗匹配装置包括：传感器模块、分数阶控制器、驱动模块以及可变阻抗电路。通过传感器模块检测射频发生装置的射频输出阻抗和可变阻抗电路的当前阻抗，由分数阶控制器计算得到可变阻抗电路的当前误差阻抗，使用分数阶PID控制算法确定可变阻抗电路的调整量，并通过驱动模块驱动可变阻抗电路完成阻抗调整，以使阻抗匹配。分数阶控制器中执行的分数阶PID控制算法中设有积分项分数阶因子和微分项分数阶因子，积分项分数阶因子影响可变阻抗电路阻抗的稳态精度，积分项分数阶因子影响可变阻抗电路阻抗的超调，因此本申请提出的射频阻抗匹配装置，匹配速度更快、匹配精确度也更高。

本发明授权射频阻抗匹配装置和方法在权利要求书中公布了：1.一种射频阻抗匹配装置，其特征在于，包括：传感器模块、分数阶控制器、驱动模块以及可变阻抗电路；所述可变阻抗电路用于分别连接射频发生装置和等离子体腔室，所述传感器模块用于检测所述射频发生装置的射频输出阻抗和所述可变阻抗电路的当前阻抗，传输至所述分数阶控制器；所述传感器模块设置在所述射频发生装置与所述可变阻抗电路之间的射频传输线上，或者通过第一检测端连接所述射频发生装置的输出端，通过第二检测端连接所述可变阻抗电路；所述传感器模块按照设定的检测周期，输出检测结果；所述分数阶控制器分别连接所述传感器模块和所述驱动模块，用于根据所述射频输出阻抗和所述可变阻抗电路的当前阻抗，得到所述可变阻抗电路的当前误差阻抗，并基于分数阶PID控制算法，得出所述可变阻抗电路的阻抗调整量，根据所述阻抗调整量生成调整指令并发送至所述驱动模块；所述当前误差阻抗根据阻抗匹配时所述可变阻抗电路的目标阻抗与所述可变阻抗电路的当前阻抗的差得到；所述驱动模块，用于根据所述调整指令调整所述可变阻抗电路的当前阻抗，以使所述射频输出阻抗与匹配网络输入阻抗匹配。

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