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龙图腾网恭喜应用材料股份有限公司申请的专利离子植入机及对衬底进行植入的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114746977B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080083760.7，技术领域涉及：H01J37/317；该发明授权离子植入机及对衬底进行植入的方法是由艾利克·唐纳德·威尔森;乔治·葛梅尔设计研发完成，并于2020-11-22向国家知识产权局提交的专利申请。

本离子植入机及对衬底进行植入的方法在说明书摘要公布了：提供一种离子植入机及对衬底进行植入的方法。所述方法包括：使用植入配方通过在沿着垂直轴线对涂布有光刻胶层的衬底进行扫描的同时在衬底之上沿着第一轴线对离子束进行扫描来实行植入；使用位于衬底位置的一侧的第一探测器在植入期间测量植入电流I；基于植入电流确定差值比率I‑BB的值，其中B是在基准压力下的校准期间由第一探测器测量的电流；基于差值比率确定电流比率CR的对于多个时刻的多个值，所述电流比率是植入电流对在校准期间由第二探测器测量的电流的比率，所述第二探测器位于衬底位置之上；以及基于电流比率，调整对离子束的扫描、对衬底的扫描或者它们的组合。

本发明授权离子植入机及对衬底进行植入的方法在权利要求书中公布了：1.一种对衬底进行植入的方法，包括：使用第一植入配方通过在沿着第二轴线对涂布有光刻胶层的衬底进行扫描的同时在所述衬底之上沿着第一轴线对离子束进行扫描来实行植入工艺，所述第二轴线垂直于所述第一轴线；使用位于衬底位置的一侧的第一探测器在所述植入工艺的期间在多个时刻测量植入电流I；在所述多个时刻基于所述植入电流确定差值比率的值，所述差值比率由I-BB表示，其中I是所述植入电流，且B是在不存在所述衬底时在基准压力下的校准期间由所述第一探测器测量的电流；基于所述差值比率确定在所述植入工艺的期间电流比率CR的分别对于所述多个时刻的多个值，所述电流比率是所述植入电流对在所述校准期间由第二探测器测量的电流的比率，所述第二探测器位于所述衬底位置之上，其中所述确定所述电流比率的所述值包括将所述差值比率映射到电流比率曲线，所述电流比率曲线将I-BB表达为电流比率CR的函数；以及基于所述电流比率，调整对所述离子束的所述扫描、对所述衬底的所述扫描或者它们的组合。

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