朗姆研究公司阿希尔·N·辛格尔获国家专利权
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龙图腾网获悉朗姆研究公司申请的专利去除金属氧化物膜的温度控制系统和方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112313785B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-15发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201980041643.1，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权去除金属氧化物膜的温度控制系统和方法是由阿希尔·N·辛格尔;帕特里克·A·范克利蒙布特;夏郑硕设计研发完成，并于2019-06-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本去除金属氧化物膜的温度控制系统和方法在说明书摘要公布了：一种处理方法包括：将衬底装载到处理室的衬底支撑件上，所述衬底具有在其表面上沉积的金属氧化物膜；基于预定温度，控制通过所述衬底支撑件提供至冷却剂通道的冷却剂的温度，其中所述预定温度小于50摄氏度；以及在基于所述预定温度控制所述冷却剂的温度的同时，选择性地蚀刻金属氧化物膜，其包括：使分子氢流入所述处理室；以及在所述处理室内激励等离子体。
本发明授权去除金属氧化物膜的温度控制系统和方法在权利要求书中公布了：1.一种衬底处理方法，其包括： 将衬底装载到处理室的衬底支撑件上，所述衬底具有在其表面上沉积的金属氧化物膜； 基于预定温度，控制通过所述衬底支撑件提供至冷却剂通道的冷却剂的温度， 其中所述预定温度小于50摄氏度；以及 在基于所述预定温度控制所述冷却剂的温度的同时，选择性地蚀刻金属氧化物膜，其包括： 使分子氢流入所述处理室；以及 在所述处理室内激励等离子体， 其中，所述金属氧化物膜是氧化锡膜。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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