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龙图腾网恭喜创意科技股份有限公司申请的专利洗净装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112640042B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-04发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201980055806.1，技术领域涉及：H01L21/02；该发明授权洗净装置是由辰己良昭;平野信介;多原主哲设计研发完成，并于2019-08-23向国家知识产权局提交的专利申请。

本洗净装置在说明书摘要公布了：本发明提供一种洗净装置，可抑制真空状态下的静电吸附力的减少，并去除半导体制造装置的真空处理室内的异物。所述洗净装置包括：异物吸附部4，在绝缘体的内部设置有包含一对电极的吸附电极3；以及吸附控制部5，将控制开关接通来使所述吸附电极带电，使绝缘体的表面显现静电吸附力而可吸附异物；且所述吸附控制部5的控制开关是可进行外部操作的远程操作型的开关，针对在真空状态下被封闭的真空封闭空间内的所述洗净装置，将控制开关接通，由此可通过在真空状态下显现的静电吸附力来去除真空处理室内的异物。

本发明授权洗净装置在权利要求书中公布了：1.一种洗净装置，是用于去除半导体制造装置的真空处理室内的异物的洗净装置，其特征在于，包括：异物吸附部，在所述异物吸附部的绝缘体的内部设置有包含一对电极的吸附电极；以及吸附控制部，将控制开关接通来使所述吸附电极带电，使所述绝缘体的表面显现静电吸附力而能够吸附异物；且所述吸附控制部的控制开关是能够进行外部操作的远程操作型的开关，针对在真空状态下被封闭的真空封闭空间内的所述洗净装置，将控制开关接通，由此可通过在真空状态下显现的静电吸附力来去除真空处理室内的异物，其中所述吸附控制部包括与外部电源连接的连接端子、利用外部电源的电压来充电并蓄积电荷的电容器、以及用于将蓄积于电容器的电荷放电来使吸附电极带电的放电开关，并且所述放电开关构成所述控制开关，在大气压下将外部电源与所述连接端子连接来对所述电容器进行充电后，将所述洗净装置配置于真空封闭空间内并将所述放电开关接通，由此在真空状态下使静电吸附力显现。

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