恭喜奥托马特里克斯责任有限公司尼古拉·斯基瓦洛基获国家专利权
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龙图腾网恭喜奥托马特里克斯责任有限公司申请的专利在基板上烧结电子部件的方法、烧结施压机及其施压组件获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN112514040B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-04发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:201980045153.9,技术领域涉及:H01L21/67;该发明授权在基板上烧结电子部件的方法、烧结施压机及其施压组件是由尼古拉·斯基瓦洛基设计研发完成,并于2019-06-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本在基板上烧结电子部件的方法、烧结施压机及其施压组件在说明书摘要公布了:用于烧结施压机的施压组件14包括:多杆缸体20,该多杆缸体具有前头部22和后头部24,该前头部和后头部一起界定了压缩室26。在前头部22中,施压杆28以彼此平行且独立的方式被滑动地支撑,所述施压杆的后端部突出到压缩室26中。在压缩室26中,致动用平坦垫圈30在施压杆的后端部上延伸。致动用平坦垫圈30通过锚固框架34固定至前头部,锚固框架接合致动用平坦垫圈30的周缘部分30',锚固框架34被完全容置在压缩室中,使得加压流体也作用在所述锚固框架上。本发明还提供了一种烧结施压机和通过烧结施压机在基板上烧结电子部件的方法。
本发明授权在基板上烧结电子部件的方法、烧结施压机及其施压组件在权利要求书中公布了:1.用于烧结施压机的施压组件14,所述烧结施压机用以在基板12上执行电子部件10的烧结,所述施压组件包括具有前头部22和后头部24的多杆缸体20,所述前头部和后头部一起界定了压缩室26,其中:-在所述前头部和所述后头部之间,插入了绕所述压缩室26定位的环形密封元件25,-在所述后头部24中制成有一入口通道32,用于将加压流体引入到所述压缩室中;-在所述前头部22中滑动支撑有施压杆28,所述施压杆彼此平行且独立,所述施压杆的后端部突出到所述压缩室26中,-在所述压缩室26中,密封膜30在所述施压杆的后端部上延伸,使得当所述压缩室26被施压时,所述密封膜30作用在所述后端部上,以将所述压缩室中的压力传递到每个单独的施压杆28,-所述密封膜30通过锚固框架34被固定至所述前头部,所述密封膜30的周缘部分30'至少部分地插入在所述前头部22与所述锚固框架34的前表面34a之间,-所述锚固框架34完全容置在所述压缩室中,使得所述加压流体也作用在所述锚固框架上。
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