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恭喜浙江晶盛机电股份有限公司;浙江晶信绿钻科技有限公司曹建伟获国家专利权

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龙图腾网恭喜浙江晶盛机电股份有限公司;浙江晶信绿钻科技有限公司申请的专利金刚石长晶装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119571453B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-08发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510130622.4,技术领域涉及:C23C16/27;该发明授权金刚石长晶装置是由曹建伟;朱亮;高宇;倪军夫;高明霞设计研发完成,并于2025-02-05向国家知识产权局提交的专利申请。

金刚石长晶装置在说明书摘要公布了:本发明提供了一种金刚石长晶装置,属于金刚石生长技术领域,解决了现有技术金刚石生长质量欠佳的问题。本发明包括第一腔体,第一腔体下方设有生长区,所述生长区用于生长金刚石;天线,所述天线设置于第一腔体内且位于生长区上方,天线用于激发反应气体形成等离子体;以及调节组件,所述调节组件包括调节环和驱动件,所述调节环活动设置于天线上方,调节环用于约束等离子体的形态,所述驱动件作用于调节环,以使调节环至少具有水平方向的活动自由度。本申请通过额外配置调节组件,利用调节环约束等离子体的形态,然后通过驱动件调节调节环的水平位置,从而间接调节等离子体的水平位置,如此实现等离子体的位置纠偏,进而提高金刚石的长晶质量。

本发明授权金刚石长晶装置在权利要求书中公布了:1.一种金刚石长晶装置,其特征在于,包括:第一腔体100,所述第一腔体100下方设有生长区G,所述生长区G用于生长金刚石;天线200,所述天线200设置于所述第一腔体100内且位于所述生长区G上方,所述天线200用于激发反应气体形成等离子体;以及调节组件300,所述调节组件300包括:调节环310,所述调节环310活动设置于所述天线200上方,所述调节环310用于约束所述等离子体的形态;驱动件320,所述驱动件320作用于所述调节环310,以使所述调节环310至少具有水平方向的活动自由度。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人浙江晶盛机电股份有限公司;浙江晶信绿钻科技有限公司,其通讯地址为:312300 浙江省绍兴市上虞区曹娥街道五星西路99号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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