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龙图腾网恭喜深圳市三维机电设备有限公司申请的专利一种半导体晶圆的自动检测装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119555019B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510117792.9，技术领域涉及：G01B21/30；该发明授权一种半导体晶圆的自动检测装置是由唐轩波;唐浩然;易波;段小平设计研发完成，并于2025-01-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种半导体晶圆的自动检测装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种半导体晶圆的自动检测装置，涉及半导体晶圆领域，解决了现有的检测装置难以对晶圆连续平整度检测的问题，包括：装置外壳与检测主机，检测主机的外侧安装有检测盘，检测盘的表面设有多个晶圆检测腔，晶圆检测腔的内侧设置有晶圆定位环，检测主机的顶部安装有两个第一安装架，第一安装架的外侧安装有平整度检测器；还包括：翻转机构，用于对晶圆定位环内的晶圆自动翻面，翻转机构安装于检测盘的内侧；本发明通过翻转机构，使第一个平整度检测器对晶圆的顶部进行平整度检测，并在检测盘转动的过程中，使晶圆定位环转动半圈，第二个平整度检测器即可对晶圆的底部进行检测，从而达到了连续检测与双面检测的效果。

本发明授权一种半导体晶圆的自动检测装置在权利要求书中公布了：1.一种半导体晶圆的自动检测装置，其特征在于，包括：装置外壳与安装于装置外壳内侧的检测主机，检测主机的外侧安装有检测盘，检测盘的表面设有多个晶圆检测腔，晶圆检测腔的内侧设置有晶圆定位环，检测主机的顶部安装有两个第一安装架，第一安装架的外侧安装有平整度检测器；还包括：翻转机构，翻转机构安装于检测盘的内侧，翻转机构包括安装于晶圆定位环外侧的第一安装杆，第一安装杆的一端固定安装有锥形齿轮，检测主机的外侧安装有弧形齿条，检测盘的顶部安装有齿环，检测主机的顶部安装有驱动电机，驱动电机的输出端固定安装有调节齿轮，检测盘的内侧还设置有用于为晶圆定位环提供定位的定杆组件；夹料机构，夹料机构安装于晶圆定位环的内侧，夹料机构包括两个安装于晶圆定位环内侧的安装筒，安装筒的内侧滑动安装有滑块，滑块的外侧固定安装有滑杆，滑杆的一端固定安装有弧形夹板，滑块的一侧与安装筒的内侧之间固定安装有第一弹簧，滑块的外侧安装有两个滑轮杆，装置外壳的内侧安装有弧形底板，弧形底板的顶部固定安装有两个弧形挡条；密封机构，密封机构安装于检测盘的顶部，密封机构包括安装于装置外壳顶部的弧形顶盖，弧形顶盖的顶部安装有两个环形盒，环形盒的内侧滑动安装有滑环，滑环的内侧固定安装有顶罩，滑环的顶部固定安装有多个支杆，支杆的顶部与环形盒的顶部之间固定安装有第二弹簧，检测主机的顶部安装有两个第二安装架，第二安装架的一端安装有视觉检测探头，滑环与顶罩的底部均安装有检测灯板，检测主机的外侧固定安装有两个密封板。

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