恭喜华芯程(杭州)科技有限公司陈敖获国家专利权
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龙图腾网恭喜华芯程(杭州)科技有限公司申请的专利一种版图图案匹配方法、装置、设备及存储介质获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119314185B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-08发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411860142.5,技术领域涉及:G06V30/19;该发明授权一种版图图案匹配方法、装置、设备及存储介质是由陈敖;吕晓君设计研发完成,并于2024-12-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种版图图案匹配方法、装置、设备及存储介质在说明书摘要公布了:本发明涉及集成电路制造领域,特别是涉及一种版图图案匹配方法、装置、设备及存储介质,通过接收目标图案及待匹配版图;依据预设的几何特征匹配条件,在所述待匹配版图对所述目标图案进行搜索匹配,获得几何匹配图案;得到对应的目标空域图像及匹配空域图像;得到各个所述几何匹配图案对应的匹配频域图像及所述目标图案对应的目标频域图像;分别计算各个所述匹配频域图像与所述目标频域图像的差别值;判断各个所述几何匹配图案的衍射信息差异值是否超过预设的第一阈值;将衍射信息差异值没有超过所述第一阈值的几何匹配图案,确定为光刻匹配图案。本发明对几何匹配图案进行光刻成像特征方面的匹配,提升图案匹配精度与匹配准确率,增加实用性。
本发明授权一种版图图案匹配方法、装置、设备及存储介质在权利要求书中公布了:1.一种版图图案匹配方法,其特征在于,包括:接收目标图案及待匹配版图;依据预设的几何特征匹配条件,在所述待匹配版图对所述目标图案进行搜索匹配,获得几何匹配图案;对所述几何匹配图案进行栅格化,得到对应的匹配空域图像;对所述目标图案进行栅格化,得到对应的目标空域图像;对所述匹配空域图像进行傅里叶变换,得到各个所述几何匹配图案对应的匹配频域图像;对所述目标空域图像进行傅里叶变换,得到所述目标图案对应的目标频域图像;所述目标频域图像,包括多个亮斑区域,所述亮斑区域分别对应所述目标图案的光刻成像的零级衍射图案、正一级衍射图案和负一级衍射图案;分别计算各个所述匹配频域图像与所述目标频域图像的差别值,作为各个所述匹配频域图像对应的几何匹配图案的衍射信息差异值;判断各个所述几何匹配图案的衍射信息差异值是否超过预设的第一阈值;将对应的衍射信息差异值没有超过所述第一阈值的几何匹配图案,确定为所述目标图案的光刻匹配图案。
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