恭喜度亘核芯光电技术(苏州)有限公司郑志川获国家专利权
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龙图腾网恭喜度亘核芯光电技术(苏州)有限公司申请的专利一种晶圆贴片装置及晶圆贴片方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119170537B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411677176.0，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种晶圆贴片装置及晶圆贴片方法是由郑志川;徐荣靖;刘中华;张继宇;魏文超;李颖设计研发完成，并于2024-11-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆贴片装置及晶圆贴片方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆贴片装置及晶圆贴片方法，涉及晶圆生产设备领域。该晶圆贴片装置用于粘附保护膜至晶圆；晶圆贴片装置包括弹性板及支撑件，支撑件连接于弹性板，支撑件与弹性板的连接点为中心点；弹性板在初始状态下，弹性板的凸弧面用于承载保护膜，位于中心点的保护膜粘附于晶圆的中心位置；弹性板在受力状态下，弹性板由中心点沿径向与保护膜分离直至保护膜完全贴附于晶圆。本发明提供的晶圆贴片装置能够对晶圆进行效果更好的贴片处理。
本发明授权一种晶圆贴片装置及晶圆贴片方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆贴片装置，其特征在于，用于粘附保护膜（200）至晶圆（300）；所述晶圆贴片装置（100）包括弹性板（110）及支撑件（120），所述支撑件（120）连接于所述弹性板（110），所述支撑件（120）与所述弹性板（110）的连接点为中心点；所述弹性板（110）在初始状态下，所述弹性板（110）的凸弧面（111）承载所述保护膜（200），位于所述中心点的保护膜（200）粘附于所述晶圆（300）的中心位置；所述弹性板（110）在受力状态下，所述弹性板（110）由所述中心点沿径向与所述保护膜（200）分离直至所述保护膜（200）完全贴附于所述晶圆（300）。
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