恭喜中节能万润股份有限公司张鹏程获国家专利权
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龙图腾网恭喜中节能万润股份有限公司申请的专利一种用于电子束光刻胶的聚合物及其制备方法和应用获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119161524B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411649152.4，技术领域涉及：C08F212/14；该发明授权一种用于电子束光刻胶的聚合物及其制备方法和应用是由张鹏程;王国政;陈帅;高宪鹏设计研发完成，并于2024-11-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于电子束光刻胶的聚合物及其制备方法和应用在说明书摘要公布了：本发明涉及光刻胶技术领域，具体涉及一种用于电子束光刻胶的聚合物及其制备方法和应用，所述聚合物具有如下结构式：；x、y、z分别为所述聚合物重复单元的质量分数，x选自60‑74%，y选自25‑35%，z选自1‑10%，所述聚合物重均分子量为2000‑20000Da，分子量分散系数为1.0‑3.0。所述制备方法为：将单体A、单体B、单体C、自由基引发剂混合后溶解在电子级反应溶剂中制备混合溶液，再将所述混合溶液滴加至电子级反应溶剂中，控制反应温度和反应时间，反应完毕，将反应体系滴加至不良溶剂中造粒得到所述的聚合物。用该聚合物配制的光刻胶组合物具有高分辨率、高灵敏度。
本发明授权一种用于电子束光刻胶的聚合物及其制备方法和应用在权利要求书中公布了：1.一种用于电子束光刻胶的聚合物，其特征在于，所述聚合物具有如下式I： 式I；x、y、z分别为所述聚合物重复单元的质量分数，x选自60-74%，y选自25-35%，z选自1-10%，所述聚合物重均分子量为2000-20000Da，分子量分散系数为1.0-3.0。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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