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龙图腾网恭喜英穆自动化科技(厦门)有限公司申请的专利一种晶圆溢胶修边设备及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119141614B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411612442.1，技术领域涉及：B26D1/45；该发明授权一种晶圆溢胶修边设备及方法是由黄华星;吕志艺;王惠荣;黄海设计研发完成，并于2024-11-13向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆溢胶修边设备及方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆溢胶修边设备和方法，包括旋转吸附装置、刀具装置、移动装置和定位装置；旋转吸附装置包括用于吸附并带动晶圆旋转的晶圆载台；刀具装置安装于移动装置上，移动装置位于旋转吸附装置的外周，该移动装置用于带动刀具装置靠近或远离晶圆载台上的晶圆周缘；刀具装置包括旋转组件和浮动刀头组件；定位装置包括设于旋转吸附装置外周的视觉定位组件，视觉定位组件包括朝上进行视觉检测的检测窗口。借此，本发明的修边设备具有高度灵活性，可以实现刀具与晶圆的间距时时跟随，修边刀头不伤晶圆，溢胶修边均匀，可以实现对notch口的自动除胶。与人工相比，避免人工修边受力不均对晶圆的损伤和污染，有效提高生产效率和产品的良率。

本发明授权一种晶圆溢胶修边设备及方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆溢胶修边设备，其特征在于：包括旋转吸附装置、刀具装置、移动装置和定位装置；所述旋转吸附装置包括用于吸附并带动晶圆旋转的晶圆载台，所述晶圆载台的直径小于晶圆的直径；所述刀具装置安装于移动装置上，移动装置位于旋转吸附装置的外周，该移动装置用于带动刀具装置靠近或远离晶圆载台上的晶圆周缘；所述刀具装置包括旋转组件和浮动刀头组件，该浮动刀头组件的刀头能够自适应地前后伸缩活动，该旋转组件用于调节浮动刀头组件的旋转角度和倾斜角度；所述刀具装置的旋转组件包括安装板、旋转座、水平旋转驱动器、刀具安装座和倾斜旋转驱动器；所述安装板安装连接于所述移动装置，所述旋转座和水平旋转驱动器均安装于安装板上，水平旋转驱动器驱动旋转座在安装板上水平转动；所述倾斜旋转驱动器和刀具安装座均安装于旋转座上，倾斜旋转驱动器驱动刀具安装座在旋转座上相对水平面倾斜转动；所述浮动刀头组件安装于刀具安装座上；所述浮动刀头组件包括刀头、刀头座和刀头弹簧；所述刀头可拆地安装于刀头座靠近晶圆载台的一端，刀头座的另一端能够往复滑动地安装限位于刀具安装座上，并且刀头座远离刀头的端面和刀具安装座之间设置所述刀头弹簧；所述定位装置包括两个设于旋转吸附装置外周并周向间隔的视觉定位组件，所述视觉定位组件包括朝上进行视觉检测的检测窗口，并且检测窗口位于晶圆载台上的晶圆下方；两个视觉定位组件周向间隔90°；所述视觉定位组件包括视觉组件和视觉移动组件，所述检测窗口设置于视觉组件靠近旋转吸附装置的顶部；视觉移动组件控制视觉组件的检测窗口沿着晶圆载台的径向方向进行移动。

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