恭喜南京埃米仪器科技有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网恭喜南京埃米仪器科技有限公司申请的专利一种晶圆表面吸附水的激光检测方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119125226B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411605675.9，技术领域涉及：G01N25/56；该发明授权一种晶圆表面吸附水的激光检测方法是由请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成，并于2024-11-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆表面吸附水的激光检测方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆表面吸附水的激光检测方法，所述方法为：在激光检测装置内设置两束激光，一束为主激光，通过聚焦后在晶圆上形成较小的光斑，进行小面积快速加热；另一束为探测光，与主激光同轴，在加热的同时对晶圆进行水分探测。优点，本发明方法，不需要加热整个晶圆，水分蒸发速度快，而且蒸发后还未扩散就立即被探。
本发明授权一种晶圆表面吸附水的激光检测方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆表面吸附水的激光检测方法，其特征在于，所述方法为：在激光检测装置内设置两束激光，一束为主激光，通过聚焦后在晶圆上形成光斑，进行小面积快速加热；另一束为探测光，与主激光同轴，在加热的同时对晶圆进行水分探测。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人南京埃米仪器科技有限公司，其通讯地址为：211899 江苏省南京市江北新区研创园雨合路光电科技园C座C502、C503、C504；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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