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龙图腾网恭喜南通全昂等离子体科技有限公司申请的专利一种电子晶片生产用的刻蚀机械获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119108318B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411597737.6，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种电子晶片生产用的刻蚀机械是由黄吕全设计研发完成，并于2024-11-11向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种电子晶片生产用的刻蚀机械在说明书摘要公布了：本发明公开了一种电子晶片生产用的刻蚀机械，涉及到刻蚀技术领域，包括刻蚀箱、用于限位电子晶片的限位部件，所述限位部件上安装有连接部件，所述刻蚀箱上安装有与所述连接部件连接的驱动部件，所述驱动部件用于通过所述连接部件驱动所述限位部件运动，使所述限位部件带动电子晶片升降以及水平方向上进行往复运动。本发明通过设置驱动部件、连接部件，使电子晶片可以一字排开在刻蚀箱内，并进行水平方向上的往复运动，实现刻蚀箱内的刻蚀液可直接从电子晶片覆盖掩膜的一侧对电子晶片进行刻蚀，提高了电子晶片的刻蚀精度，保障了掩膜的覆盖保护作用，提高了晶圆片的加工质量。

本发明授权一种电子晶片生产用的刻蚀机械在权利要求书中公布了：1.一种电子晶片生产用的刻蚀机械，其特征在于：包括刻蚀箱（1）、用于限位电子晶片的限位部件（3），所述限位部件（3）上安装有连接部件（4），所述刻蚀箱（1）上安装有与所述连接部件（4）连接的驱动部件（2），所述驱动部件（2）用于通过所述连接部件（4）驱动所述限位部件（3）运动，使所述限位部件（3）带动电子晶片升降以及水平方向上进行往复运动；所述限位部件（3）包括若干限位框（19），所述限位框（19）为U型结构，所述限位框（19）上开设有与电子晶片相适配的第一限位槽（20），所述限位框（19）的底部开设有与所述第一限位槽（20）相连通的排液槽（21），所述限位框（19）上固定连接有铰链（22），相邻所述限位框（19）通过所述铰链（22）转动连接，所述连接部件（4）包括用于配合所述限位框（19）对电子晶片进行限位的支撑杆（10），所述支撑杆（10）上固定套接有固定套筒（11），所述支撑杆（10）上滑动套接有滑动套筒（12），所述固定套筒（11）和所述滑动套筒（12）上均固定连接有转动轴（13），两端两个所述限位框（19）相互远离的一侧均固定连接有第一限位套筒（18），所述转动轴（13）与所述第一限位套筒（18）转动套接，所述支撑杆（10）上开设有第一限位孔（16）、第二限位孔（17），所述滑动套筒（12）上固定连接有螺纹套筒（14），所述螺纹套筒（14）通过螺纹连接有限位螺栓（15），所述限位螺栓（15）与所述第一限位孔（16）、所述第二限位孔（17）相适配。

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