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龙图腾网恭喜青岛华芯晶电科技有限公司;山西鼎芯晶体材料有限公司申请的专利一种晶圆清洁装置及清洁方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119076509B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411585904.5，技术领域涉及：B08B3/12；该发明授权一种晶圆清洁装置及清洁方法是由郑东;肖燕青;王鑫;贾松松;王艳华设计研发完成，并于2024-11-08向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆清洁装置及清洁方法在说明书摘要公布了：本发明涉及晶圆清洗技术领域，具体公开了一种晶圆清洁装置及清洁方法，包括：安装架、清洗槽和安装架上设置的吊装件，所述安装架包括放置杆和位于放置杆两侧的挡杆，挡杆内滑动设置有活动杆，所述挡杆上沿着其轴向开设有多个限位块和避让槽，所述活动杆上安装有多个滑动设置在避让槽上的安装块，所述限位块与安装块一起用于夹持晶圆，两挡杆上夹持的晶圆一一交错设置，活动杆与放置杆之间设有连接杆，活动杆上设有凸起；本发明的有益效果：在对晶圆进行清洗时，增加晶圆之间的间隙，清洗效果更好；安装架向下移动时，驱动组件使晶圆转动，进而使晶圆被夹持部位能够被清洗，使晶圆清洗更加全面。

本发明授权一种晶圆清洁装置及清洁方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆清洁装置，包括安装架、清洗槽和安装架上设置的吊装件，其特征在于：所述安装架包括放置杆和位于放置杆两侧的挡杆，挡杆内滑动设置有活动杆，所述挡杆上沿着其轴向开设有多个限位块和避让槽，所述活动杆上安装有多个滑动设置在避让槽上的安装块，所述限位块与安装块一起用于夹持晶圆，两挡杆上夹持的晶圆一一交错设置，活动杆与放置杆之间设有连接杆，活动杆上设有凸起，连接杆的一端套接在活动杆上并与凸起之间存在间隙，另一端与放置杆螺纹连接，连接杆与挡杆之间还安装有复位件；清洗槽内安装有与连接杆端部接触并使连接杆转动的驱动件，清洗槽与挡杆之间安装有用于驱动晶圆转动的转动组件，连接杆与凸起接触前，限位块与安装块夹持晶圆，连接杆推动凸起移动时，晶圆可自由转动；放置杆上沿其长度方向开设有放置槽，所述晶圆放置于放置槽内；转动组件包括齿条和齿轮，所述放置杆包括中间杆和套杆，所述套杆转动设置在中间杆上，放置槽开设在套杆上，所述齿条固定设置在清洗槽内，所述齿轮固定设置在套杆上。

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