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龙图腾网恭喜浙江丽水中欣晶圆半导体科技有限公司申请的专利一种测量外延片的外延层厚度的装置及其测量方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119133081B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411590354.6，技术领域涉及：H01L21/687；该发明授权一种测量外延片的外延层厚度的装置及其测量方法是由徐新华设计研发完成，并于2024-11-08向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种测量外延片的外延层厚度的装置及其测量方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种测量外延片的外延层厚度的装置及其测量方法，涉及到外延片领域，包括检测组件、待检样片、置物台、切换组件、抓取组件与置物组件，置物组件包括置物架与引导杆，抓取组件的一侧固定连接有引导组件，引导组件置于两个所述置物架之间，用于驱动所述置物架承接待检样片。本发明还公开了一种测量外延片的外延层厚度的测量方法，包括以下步骤：准备工作、上料检测、检测、结果判断、转移样品、循环检测与样品分类。本发明通过对检测结果的判断改变检测后的外延片放置位置，避免检测后的外延片混淆。改变外延片的拿取方式与堆叠方式，避免外延片摩擦造成外延层损坏，同时增加堆叠时的阻尼效果，保证待检样片的质量。

本发明授权一种测量外延片的外延层厚度的装置及其测量方法在权利要求书中公布了：1.一种测量外延片的外延层厚度的装置，包括检测组件、待检样片与置物台，其特征在于，还包括：切换组件，其置于所述置物台的下端，用于转移所述待检样片的位置；所述置物台上开设有至少两个放置槽，所述待检样片置于对应的放置槽内，所述检测组件与其中一个所述放置槽竖直水平设置；抓取组件，其置于放置槽的上方，且不与所述检测组件对应；置物组件，其数量为两组，且对称设置，所述置物组件包括置物架与引导杆，置物架套装在引导杆的外侧；每个所述置物组件还包括固定盘，其固定连接在所述引导杆的下端，所述引导杆数量为多个，且相对固定盘轴线均匀设置；引导套环，其固定连接在对应所述引导杆的外侧，且外侧开设有引导槽与拆卸槽，所述引导槽用于引导置物架翻转与下落，所述拆卸槽用于拆除置物架；所述引导槽包括下落槽与翻转槽；缓冲垫圈，其滑动套装在对应所述引导杆的外侧，下端固定连接有支撑弹簧，支撑弹簧的下端与所述固定盘固定连接，用于支撑下落到极限位置的置物架；驱动电机，其输出轴与所述固定盘的轴心位置固定连接，且置于固定盘的下端，用于切换置物架的位置；所述抓取组件的一侧固定连接有引导组件，引导组件置于两个所述置物架之间，用于驱动所述置物架承接待检样片。

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