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龙图腾网恭喜哈尔滨工业大学申请的专利一种基于鲁棒优化的超精密运动台故障诊断方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119065248B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411175935.3，技术领域涉及：G05B13/04；该发明授权一种基于鲁棒优化的超精密运动台故障诊断方法是由宋法质;韦鹏宇;吴世豪;刘杨;谭久彬设计研发完成，并于2024-08-26向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于鲁棒优化的超精密运动台故障诊断方法在说明书摘要公布了：一种基于鲁棒优化的超精密运动台故障诊断方法，涉及超精密装备制造技术领域。期望位置信号、位置干扰信号和位置故障信号输入控制系统获得位置信号、控制信号和控制对象；位置信号、控制信号和控制对象输出至故障诊断系统，其中，控制对象进行左互质因式分解获得分解矩阵Ms和Ns，Ms和Ns分别与位置信号和控制信号相乘再作差获得残余误差；残余误差输入鲁棒故障诊断滤波器获得超精密运动台的故障检测信号，与设定阈值进行对比判断是否发生故障。在保证对故障信号敏感的前提下，对系统不确定性引起的误差和外部干扰具有更好的抑制效果，显著提高故障诊断的鲁棒性和准确性。

本发明授权一种基于鲁棒优化的超精密运动台故障诊断方法在权利要求书中公布了：1.一种基于鲁棒优化的超精密运动台故障诊断方法，其特征在于：包括以下步骤：步骤一：干扰信号d通过干扰传递函数Gds产生位置干扰信号yd，故障信号f通过故障传递函数Gfs产生位置故障信号yf，其中s为拉普拉斯算子，将期望位置信号r、位置干扰信号yd和位置故障信号yf输入控制系统获得位置信号y、控制信号u和控制对象P；步骤二：将位置信号y、控制信号u和控制对象P输出至故障诊断系统Ψ，其中，控制对象P进行左互质因式分解获得分解矩阵Ms和Ns，分解矩阵Ms和Ns分别与位置信号y和控制信号u相乘获得分解信号ym和yn，分解信号ym和yn作差获得残余误差e；步骤三：将残余误差e输入鲁棒故障诊断滤波器R获得超精密运动台的故障检测信号ε，根据故障检测信号ε与设定阈值进行对比判断是否发生故障。

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