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龙图腾网恭喜苏州鑫达半导体科技有限公司申请的专利一种晶圆的固定装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118919471B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410924702.2，技术领域涉及：H01L21/683；该发明授权一种晶圆的固定装置是由张育嘉设计研发完成，并于2024-07-11向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆的固定装置在说明书摘要公布了：本发明涉及晶圆检测技术领域，尤其是一种晶圆的固定装置，包括底座，表面具有包围部；固定组件，滑动安装在底座上，包括绝缘座、第一电极和第二电极，第一电极和第二电极设在绝缘座的内部并交替相邻设置；供电电源，输出端分别与第一电极和第二电极电性连接，且加载在第一电极和第二电极上的电压极性相反；绝缘座靠近底座的一面具有延伸端，延伸端外缘面上具有对称开设的第一齿槽，底座具有容纳延伸端的第一安装槽，第一安装槽内滑动安装有环形板，环形板上具有对称设置的立杆，立杆上具有第二齿槽，第一安装槽内安装有第一齿轮。本发明通过静电吸附技术和电磁板的结合，实现了晶圆的精确定位和固定，显著提高了晶圆检测的准确性和效率。

本发明授权一种晶圆的固定装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆的固定装置，其特征在于：包括，底座100，表面具有包围部101，形成容纳腔101a；固定组件200，滑动安装在所述容纳腔101a内，包括绝缘座201、第一电极202和第二电极203，所述第一电极202和所述第二电极203埋设在所述绝缘座201的内部并交替相邻设置；供电电源300，输出端分别与所述第一电极202和所述第二电极203电性连接，且加载在所述第一电极202和所述第二电极203上的电压极性相反；其中，所述绝缘座201靠近所述底座100的一面具有延伸端201a，所述延伸端201a外缘面上具有对称开设的第一齿槽201a-1，所述底座100具有容纳所述延伸端201a的第一安装槽105，所述第一安装槽105内滑动安装有环形板106，所述环形板106上具有对称设置的立杆106a，所述立杆106a上具有与所述第一齿槽201a-1相对设置的第二齿槽106a-1，所述第一安装槽105内安装有第一齿轮107，所述第一齿轮107与所述第一齿槽201a-1和所述第二齿槽106a-1啮合连接，所述绝缘座201与所述容纳腔101a的腔面上均固定安装有磁石108，所述磁石108接触面极性相反，与所述容纳腔101a的腔面之间还连接有弹性件，所述磁石108位于所述弹性件内，所述固定组件200还包括加热层204，所述加热层204安装在所述绝缘座201内并位于所述第一电极202和所述第二电极203的下方，所述加热层204包括PTC加热器、热电偶和导热膜，用于提供晶圆检测时所需要的环境温度，所述底座100与所述绝缘座201之间填充有树脂层400，所述包围部101远离所述底座100的一面向内延伸开设有第二安装槽101b，所述第二安装槽101b内滑动连接有保护板102，所述包围部101内壁开设有与所述第二安装槽101b贯通的条型槽101c，所述条型槽101c槽壁上转动安装有第二齿轮103，所述保护板102与所述绝缘座201上均固定安装有与所述第二齿轮103啮合连接的齿条104，所述保护板102表面喷涂有黑色涂层，用于吸收可见光及近红外光。

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